Регистрация / Вход
Прислать материал

Исследование неравновесных процессов в плазме многочастотных плазменных реакторов с прецизионным управлением для травления перспективных материалов наноэлектроники

Стадии проекта
Предложение принято
Конкурс завершен
Проект закончен
Проект
02.740.11.0235
Организация
НИИЯФ МГУ
Руководитель работ
Рахимов Александр Турсунович
Продолжительность работ
2009 - 2011, 26 мес.
Бюджетные средства
11,9 млн
Внебюджетные средства
4,2 млн

Информация отсутствует

Этапы проекта

1
07.07.2009 - 15.12.2009
1.1. Модернизация имеющихся много- частотных плазменных реакторов (МНР): - на основе ДЧ емкостного разряда;т - на основе МЧ емкостного разряда;- на основе ДЧ комбинированного емкостно-индукционного разряда.
1.2. Адаптация и модернизация средств диагностики: - зондовых и вч методов
- многосеточного анализатора энергетического спектра ионов; - методов спектроскопии поглощения и эмиссионной спектроскопии с высоким пространственным (<1 мм) и временным (1-2 не) разрешением;
1.3. Отработка режимов функционирования реакторов на плазме инертных газов (аргон): - исследования динамики плазменных процессов в разрядном пространстве реакторов; - создание из первых принципов самосогласованных моделей МЧР на основе метода частиц в ячейке с розыгрышем Монте Карло столкновений (МЧЯ МКС); - проведение масштабирования плазменных источников по удельной мощности (до 0,5 Вт/см2) и нахождение критериев масштабирования;
1.4. Исследование влияния поверхности электродов на вторичную электронную эмиссию и концентрацию радикалов, исследование динамических эффектов и
детального исследования цепных реакций во фторуглеводородах.
1.5. Исследование взаимодействия плазмы с поверхностью электродов с
учетом роли потоков радикалов, ионов и жесткого излучения
Развернуть
2
01.01.2010 - 30.06.2010
2.1. Исследование параметров МЧ плазмы в зависимости от вложенной
мощности, давления и парциального состава газовой смеси.
2.2. Исследование пространственных распределений радикалов и концентрации отрицательных ионов во фторуглеродной плазме.
2.3. Определение потоков радикалов Н, F, СF2, stiking коэффициентов этих
радикалов на поверхности фторуглеродной пленки.
2.4. Определение концентрации отрицательных ионов и фторуглеродных
кластеров методом внутрирезонаторной спектроскопии поглощения (Саvity Ring
Down Spectroscopy).
2.5. Определение диапазона параметров плазмы, определяющих возникновение
бистабильного режима функционирования плазменного реактора во фторуглеродной плазме.
2.6. Исследование поверхности и структуры фторуглеродной пленки, образованной на поверхности исследуемых материалов, в зависимости от параметров МЧ емкостных разрядов.
2.7. Создание самосогласованной многомасштабной (multi-scale, МS) модели МЧ плазмы в фторуглеродах с учетом процессов во фторуглеродной пленке.
2.8. Разработка на основе данных спектроскопии плазмы и поверхности
кинетической модели процессов во фторуглеродной пленке.
2.9. Исследование основных процессов в плазме, влияющих на структуру
глубоких канавок (тренчей) при анизотропном травлении low-k материала.
2.10. Определение коэффициентов вторичной электронной эмиссии
электронов с поверхности нагруженного электрода для плазмы на низкой частоте
для разных материала электрода.
Развернуть
3
01.07.2010 - 15.12.2010
3.1. Анализ возможных механизмов возникновения дефектов в low-k пленке
(SiOНС нанопористая структура) при взаимодействии с МЧ плазмой в смесях
(Не, О2, Н2) и в послесвечении.
3.2. Исследование предполагаемых механизмов возникновения дефектов в
low-k пленке при взаимодействии потоков радикалов О и Н с поверхностью
low-k материала в зависимости от параметров плазмы.
3.3. Разработка многомасштабной (multi-scale) модели возникновения дефектов
при взаимодействии low-k пленки с МЧ плазмой.
3.4. Разработка методов предобработки low-k материала в ДЧ (емкостной и
индукционно-емкостной) плазме гелия для создания структурных нанослоев,
препятствующей возникновению дефектов в low-k материале при травлении резиста.
3.5. Исследование раздельного влияния потока метастабильных атомов (Не*),
ВУФ излучения, и ионов, эмитированных плазмой гелия, и их возможного синергетического эффекта на характеристики low-k пленки, образованной из разного органического прекурсора (разная SiOHC структура).
3.6. Определение параметров ДЧ плазмы, позволяющей с учетом предобработки low-k материала бездефектно стравливать резист в плазме с кислородом или водородом.
3.7. Определение потоков и энергии ионов гелия для предобработки low-k
материала, образованного из разного органического прекурсора (разная
SiOНС структура)
Развернуть
4
01.01.2011 - 01.09.2011
4.1. Разработка новых методов высокоанизотропного травления моно- и
поликристаллических алмазных пленок в кислородсодержащей (смесь Не и О2)
плазме ДЧ разрядов: - разработка методов нанесения; твердотельных масок
- тестирование образцов с масками в ДЧ реакторе; - исследование зависимости параметров плазмы в смеси Не:О2 от давления газа, парциального состава смеси и мощности на каждой из частот; - определение оптимальных режимов для высокоанизотропного травления алмазных пленок
4.2. Создание многомасштабной (multi-scale) модели, включающей объемную
плазмохимию и поверхностные процессы на поверхности обрабатываемых
подложек, позволяющей управлять процессом травления алмазных структур
в ДЧ плазме в смеси Не, О2
4.3 .Проведение технико-экономической оценки рыночного потенциала всех
полученных в проекте результатов.
4.4.Проведение патентных исследований по ГОСТ P 15.011-96.
4.5. Разработка программы внедрения результатов НИР в образовательный
процесс.
4.6. Определение оптимальных режимов возбуждения ДЧ (емкостной,
индукционно-емкостной) плазмы для травления структур в алмазе и для
модификации поверхности кремния.
Развернуть

Программа

Программа "Научные и научно-педагогические кадры инновационной России" на 2009 - 2013 годы

Программное мероприятие

1.1 Проведение научных исследований коллективами научно-образовательных центров
Продолжительность работ
2008, 2 мес.
Бюджетные средства
2,5 млн
Организация
ООО "ЛМП"
профинансировано
Продолжительность работ
2012 - 2013, 12 мес.
Бюджетные средства
1,95 млн
Организация
ИАП РАН
профинансировано
Продолжительность работ
2009 - 2010, 11 мес.
Бюджетные средства
3 млн
Организация
АО "ГНЦ РФ ТРИНИТИ"
профинансировано
Тема
Развитие методов плазменного травления для формирования наноразмерного рельефа.
Продолжительность работ
2008, 2 мес.
Бюджетные средства
2,5 млн
Количество заявок
2
Тема
Исследование нелинейных процессов в замагниченной плазме и их влияние на динамику и структуру ионных потоков в плазменных ускорителях с замкнутым дрейфом электронов
Продолжительность работ
2005 - 2006, 23 мес.
Бюджетные средства
3 млн
Количество заявок
3
Тема
Создание функционирующего в режиме удалённого доступа интерактивного учебно-научного комплекса для выполнения работ по сверхпрецизионному наноразмерному травлению, нанесению и модифицированию материалов с использованием остросфокусированных ионных пучков и виртуальных симуляторов указанных процессов.
Продолжительность работ
2010 - 2011, 12 мес.
Бюджетные средства
23 млн
Количество заявок
1
Тема
«Организационно-техническое обеспечение проведения всероссийской молодежной конференции «Проблемы физики высокотемпературных процессов в сильно неравновесных средах»»
Бюджетные средства
0 млн
Количество заявок
0
Тема
«Организационно-техническое обеспечение проведения всероссийской молодежной конференции «Проблемы физики высокотемпературных процессов в сильно неравновесных средах»»
Продолжительность работ
2011, 2 мес.
Бюджетные средства
1 млн
Количество заявок
0