Регистрация / Вход
Прислать материал

Разработка методов получение пластин полупроводникового карбида кремния большого диаметра с целью применения групповых технологий микроэлектроники нового поколения.

Стадии проекта
Предложение принято
Конкурс завершен
Проект закончен
Проект
02.740.11.0507
Организация
CПбГЭТУ "ЛЭТИ"
Руководитель работ
Таиров Юрий Михайлович
Продолжительность работ
2010 - 2012, 31 мес.
Бюджетные средства
8,9 млн
Внебюджетные средства
2 млн

Информация отсутствует

Этапы проекта

1
15.03.2010 - 01.07.2010
1.1 Анализ научно-технической
литературы, нормативно-технической
документации и других материалов по
теме проекта.
1.2 Выбор и обоснование принятого
направления исследований и способов
решения поставленных задач.
1.3.Анализ основных причин,
определяющих структурное качество
выращиваемых монокристаллов карбида
кремния большого диаметра
1.4. Анализ основных причин
определяющих структурное
совершенство пластин карбида кремния
большого диаметра
1.5 Оценка взаимосвязи технологических
параметров выращивания со
структурным совершенством
монокристаллов карбида кремния.
1 .6 Проведение патентных исследований
(Методы выращивания слитков карбида
кремния большого диаметра) по ГОСТ
15.011-96.
1.7 Выращивание объемных
монокристаллов карбида кремния
Развернуть
2
02.07.2010 - 15.11.2010
2.1 Определение технологических
параметров процесса роста^влияющих на
структурное совершенство слитков
большого диаметра
2.2 Обработка данных и разработка
модельных представлений о тепловых
полях в зоне роста кристаллов карбида
кремния большого диаметра.
2.3 Выращивание объемных
монокристаллов карбида кремния.
Развернуть
3
01.01.2011 - 01.07.2011
3.1 Оценка методов и разработка методик
исследования объемной структуры
слитков SiС большого диаметра
3.2 Оценка методов и разработка методик
исследования поверхностной структуры
пластин SiС большого диаметра
3.3 Выращивание объемных
монокристаллов карбида кремния
большого диаметра
Развернуть
4
02.07.2011 - 15.11.2011
4.1 Анализ основных методов
механической обработки
монокристаллических слитков карбида
кремния большого диаметра
4.2. Анализ основных методов механической обработки
монокристаллических пластин карбида
кремния большого диаметра
4.3 Выращивание объемных
монокристаллов карбида кремния
большого диаметра
Развернуть
5
01.01.2012 - 01.07.2012
5.1 Влияние технологических факторов
на увеличение диаметра слитков и
пластин карбида кремния.
5.2 Влияние конструкционных факторов
ячейки роста на увеличение диаметра
слитков и пластин карбида кремния
5.3 Выращивание объемных
монокристаллов карбида кремния
большого диаметра
Развернуть
6
02.07.2012 - 01.10.2012
6.1. Обобщение результатов предыдущих
этапов работ. Оценка полноты решения
задач и эффективности полученных
результатов в сравнении с современным
научно-техническим уровнем.
6.2. Проведение дополнительных
исследований
6.3. Оценка возможности создания
конкурентоспособной продукции и услуг и
разработка рекомендаций по
использованию результатов проведенных
НИР, включая предложения по
коммерциализации.
6.4. Проведение технико-экономической
оценки полученных результатов
б.З.Разработка программы внедрения
результатов НИР в образовательный
процесс.
6.6 Получение пластин,подготовленных
для эпитаксии полупроводникового
монокристаллического карбида кремния
большого диаметра
6.7 Выращивание объемных
монокристаллов карбида кремния
большого диаметра
Развернуть

Программа

Программа "Научные и научно-педагогические кадры инновационной России" на 2009 - 2013 годы

Программное мероприятие

1.1 Проведение научных исследований коллективами научно-образовательных центров
Продолжительность работ
2010 - 2012, 31 мес.
Бюджетные средства
2,8 млн
Организация
CПбГЭТУ "ЛЭТИ"
профинансировано
Тема
«Разработка технологии производства гетероэпитаксиальных структур на основе карбида кремния и родственных широкозонных полупроводниковых материалов на нанопористых подложках кремния для приборов электроники, микро- и наносистемной техники».
Продолжительность работ
2011 - 2013, 31 мес.
Бюджетные средства
240 млн
Количество заявок
1
Тема
Синтез тонких пленок карбида кремния.
Продолжительность работ
2008, 2 мес.
Бюджетные средства
2,5 млн
Количество заявок
3
Тема
Разработка метода получения высокоомных слоев нитрида алюминия на карбиде кремния.
Продолжительность работ
2008, 2 мес.
Бюджетные средства
2,5 млн
Количество заявок
1
Тема
Разработка технологий плазмохимического синтеза нано- и поликристаллических алмазных пленок и пластин большой площади.
Продолжительность работ
2007 - 2009, 26 мес.
Бюджетные средства
135 млн
Количество заявок
1
Тема
Разработка конструктивно-технологических решений в области высокотемпературной микроэлектроники на структурах кремний на изоляторе
Продолжительность работ
2014 - 2016, 25 мес.
Бюджетные средства
44,1 млн
Количество заявок
3