Регистрация / Вход
Прислать материал

Исследование конструктивно-технологического базиса диафрагменных преобразователей для акустических микромеханических систем

Стадии проекта
Предложение принято
Конкурс завершен
Проект закончен
Проект
02.740.11.0567
Руководитель работ
Мальцев Петр Павлович
Продолжительность работ
2010 - 2012, 31 мес.
Бюджетные средства
10,5 млн
Внебюджетные средства
2,1 млн

Информация отсутствует

Участники проекта

Зам. руководителя работ
Поломошнов Сергей Александрович

Этапы проекта

1
22.03.2010 - 30.09.2010
1.1. Проведение аналитического обзора тенденций развития перспективных микроэлектронных акустических преобразователей.
1.2. Выбор и обоснование конструктивно-технологических методов создания акустических микросистем и чувствительного элемента на основе диафрагмы.
1.3. Разработка математической модели чувствительного элемента диафрагменного преобразователя.
1.4. Сравнительный анализ результатов разработки с действующими изделиями аналогами.
1.5. Проведение патентных исследований.
Развернуть
2
01.10.2010 - 10.12.2010
1.1. Разработка методов контроля механических напряжений в тонких диэлектрических мембранах.
1.2. Разработка конструкции и технологии изготовления тестовых микромеханических структур.
2.3. Изготовление и модернизация конструкции стенда аттестации акустических преобразователей.
Развернуть
3
01.01.2011 - 30.09.2011
1.1. Разработка конструктивно-технологических ограничений на проектирование чувствительных элементов диафрагменных преобразователей.
1.2. Проектирование топологии чувствительных элементов диафрагменных преобразователей.
1.3. Изготовление экспериментальных образцов чувствительных элементов диафрагменных преобразователей.
1.4. Доработка стенда аттестации акустических преобразователей на основе модернизируемой конструкции.
Развернуть
4
01.10.2011 - 10.12.2011
1.1. Разработка макета испытательного стенда характеристик диафрагменных преобразователей.
1.2. Разработка методики измерения параметров диафрагменных преобразователей.
1.3. Предварительные исследования экспериментальных образцов чувствительных элементов диафрагменных преобразователей.
Развернуть
5
01.01.2012 - 15.05.2012
1.1. Разработка и изготовление макета акустической микромеханической системы.
1.2. Разработка эскизной конструкторской документации на макет микромеханической системы.
1.3. Исследование характеристик акустической микромеханической системы.
1.4. Корректировка состава и конструкции модернизированного стенда аттестации акустических преобразователей.
Развернуть
6
16.05.2012 - 01.10.2012
1.1. Обобщение результатов предыдущих этапов работы.
1.2. Оценка полноты решения задач и эффективности полученных результатов в сравнении с современным научно-техническим уровнем.
1.3. Проведение технико-экономической оценки полученных результатов и разработка рекомендаций по использованию результатов проведенной НИР. Оценка возможности создания конкурентоспособной продукции.
6.4. Разработка программы внедрения результатов НИР в образовательный процесс.
Развернуть

Программа

Программа "Научные и научно-педагогические кадры инновационной России" на 2009 - 2013 годы

Программное мероприятие

1.1 Проведение научных исследований коллективами научно-образовательных центров
Продолжительность работ
2010 - 2012, 26 мес.
Бюджетные средства
2,1 млн
Организация
МИЭТ
профинансировано
Тема
Разработка научно-технических решений для повышения надежности и радиационной стойкости элементной базы аппаратуры космического назначения
Продолжительность работ
2014 - 2016, 25 мес.
Бюджетные средства
54,7 млн
Количество заявок
11
Тема
Разработка промышленной технологии и оборудования получения мультикремния для фотоэлектрических преобразователей тока (ФЭП) из рафинированного металлургического кремния.
Продолжительность работ
2005 - 2006, 23 мес.
Бюджетные средства
16,8 млн
Количество заявок
0
Тема
Исследование в области создания методологии расчета средствами приборно-технологического моделирования основных эффектов, возникающих в интегральных элементах ИС при попадании в них тяжелой заряженной частицы.
Продолжительность работ
2011 - 2012, 13 мес.
Бюджетные средства
15 млн
Количество заявок
1
Тема
Разработка базовых серийных технологий изделий микроэлектроники: микроэлектронных устройств различных типов (кремниевый резонансный преобразователь давления)
Продолжительность работ
2011 - 2012, 17 мес.
Бюджетные средства
0 млн
Количество заявок
0
Тема
Разработка технологий получения прецизионных материалов, конструкций нового поколения высокотемпературных первичных преобразователей различных физических величин на их основе и организация их опытно-промышленного производства
Продолжительность работ
2007 - 2009, 23 мес.
Бюджетные средства
150 млн
Количество заявок
3