Регистрация / Вход
Прислать материал

Создание наноструктур методом атомно-слоевого осаждения для электроники и медицины

Стадии проекта
Предложение принято
Конкурс завершен
Проект закончен
Проект
02.740.11.0786
Организация
МФТИ
Руководитель работ
Маркеев Андрей Михайлович
Продолжительность работ
2010 - 2012, 31 мес.
Бюджетные средства
6,5 млн
Внебюджетные средства
1,3 млн

Информация отсутствует

Этапы проекта

1
24.04.2010 - 15.06.2010
1.1.Изучение научной литературы и
проведение сравнительной оценки
вариантов возможных решений
исследуемой проблемы получения
наноструктур на основе оксидов с
заданными параметрами,
составление аналитического обзора.
1.2.Подготовка установки атомно-
слоевого осаждения к проведению
экспериментов.
1.3. Отработка основных
технологических параметров атомно-
слоевого осаждения (выбор
прекурсоров, температуры,
парциальных давлений рабочих
газов).
1.4.Проведение работ по патентным
исследованиям.
1.5. Разработка технологических
методик подготовки подложек из
медицинских титановых сплавов и
монокристаллического кремния для
проведения экспериментов.
Развернуть
2
16.06.2010 - 30.11.2010
2.1.Разработка технологических
основ процессов атомно-слоевого
осаждения оксидов алюминия.
2.2.Разработка технологических
основ процессов атомно-слоевого
осаждения оксидов титана.
2.3. Разработка технологических
основ процессов атомно-слоевого
осаждения оксидов алюминия и
титана и их комбинаций.
2.4.Определение технологических
параметров процесса атомно-
слоевого осаждения. Разработка
лабораторной технологии атомно-
слоевого осаждения оксидов.
2.5.Подготовка и поставка подложек
из медицинских титановых
носителей для проведения атомно-
слоевого осаждения.
Развернуть
3
01.01.2011 - 15.06.2011
3.1.Исследование физико-
химических свойств
функциональных слоев оксидов
алюминия и титана в зависимости от
условий процесса (толщина,
температура, кристаллографическая
природа и химический состав)
наноструктур.
3.2.Установление корреляции
физико-химических свойств
оксидов и их композиций с
электрофизическими параметрами
(электрическое поле пробоя,
плотность поверхностных состояний,
дефектность,диэлектрическая проницаемость)
формируемых наноструктур.
3 3. Разработка методики измерения
электрофизических параметров
наноструктур.
3.4. Получение тестовых структур и
проведение испытаний.
Развернуть
4
16.06.2011 - 30.11.2011
4 1. Разработка методики измерения
медико-биологических параметров
наноструктур.
4 2. Установление корреляции
физико-химических свойств оксидов
и их композиций с медико-
биологическими параметрами
(пролиферация клеточных культур,
рост остеобластов, гидрофильность
поверхности) формируемых
наноструктур.
4.3. Получение тестовых
медицинских структур и проведение
испытаний.
Развернуть
5
01.01.2012 - 15.06.2012
5.1. Проведение тестовых
испытаний экспериментальных
образцов.
5.2. Корреляция технологии АСО.
5.3. Разработка рекомендаций по
использованию наноструктур.
Развернуть
6
16.06.2012 - 05.11.2012
6. 1 . Проведение опытно-
технологических партий.
6.2.Проведение измерений
наноструктур для электроники и
медицины.
6.3. Обобщение и оценка
результатов проведенных
исследований.
6.4. Разработка программы
внедрения результатов НИР в
образовательный процесс.
Развернуть

Программа

Программа "Научные и научно-педагогические кадры инновационной России" на 2009 - 2013 годы

Программное мероприятие

1.1 Проведение научных исследований коллективами научно-образовательных центров
Продолжительность работ
2010 - 2012, 30 мес.
Бюджетные средства
2,5 млн
Организация
МФТИ
профинансировано
Проведение поисковых научно-исследовательских работ в области электроники и перспективных материалов в интересах высокотехнологичных секторов экономики с использованием современной экспериментальной базы : 1. Исследование интегрально-оптического модулятора на ниобате лития, выполненного на базе протонообменных канальных волноводов 2. Рентгеновские исследования планарных наноразмерных структур на основе TiO2, Al2O3 и их смесей, выращенных методом атомно-слоевого осаждения 3. Исследование процесса получения тонкопленочного покрытия для плазменных зондов 4. Исследование основных характеристик эпитаксиальных слоев полупроводниковых соединений А3В5 и твердых растворов на их основе 5. Изучение влияния ростовых дефектов гетероэпитаксиальных слоев твердого раствора теллурида кадмия-ртути (ГЭС КРТ) на вольт-фарадные характеристики структур ГЭС КРТ/пассивирующее диэлектрическое покрытие 6. Исследование субмикронных порошков Lu1-xYxBO3:Eu,Ce методами растровой электронной микроскопии, катодолюминесценции и элементного микроанализа 7. Исследование структуры и свойств тонких пленок твердых растворов (SiC)1-x(AlN)x 8. Изучение возможности использования пленки метастабильного твердого GeO как перспективного материала для нанотехнологии 9. Исследование нанокластеров кремния в пленках оксида и нитрида кремния с применением микроскопии и рентгеновского анализа 10. Синтез и изучение электрофизических свойств ультратонких углеродных пленок 11. Изучение метрологических характеристик сканирующих головок атомно-силового микроскопа, используемых для контроля технологических операций в микро- и наноэлектронике 12. Разработка криогенного фильтра низких частот на основе интегральных тонкопленочных конденсаторов
Продолжительность работ
2010, 2 мес.
Бюджетные средства
2 млн
Организация
МФТИ
профинансировано
Тема
Разработка методов атомно-слоевого осаждения диэлектрических, полупроводниковых и металлических покрытий на наноструктурированные поверхности.
Продолжительность работ
2008, 2 мес.
Бюджетные средства
2,5 млн
Количество заявок
1
Тема
Атомные процессы и технологии изготовления твердотельных полупроводниковых наноструктур.
Продолжительность работ
2008, 3 мес.
Бюджетные средства
1,2 млн
Количество заявок
1
Тема
Проведение научных исследований целевыми аспирантами по направлению неорганические оксиды в электронике, механике, катализе, медицине
Продолжительность работ
2011 - 2012, 13 мес.
Бюджетные средства
0 млн
Количество заявок
18
Тема
Создание физико-технологических принципов формирования самоорганизующихся кристаллических наноструктур для функциональной электроники и сенсорики.
Продолжительность работ
2008, 3 мес.
Бюджетные средства
1,2 млн
Количество заявок
3
Тема
Создание нового типа наноразмерных моноэнергетических источников электронов на основе упорядоченных углеродных наноструктур для приборов вакуумной электроники
Продолжительность работ
2005 - 2006, 23 мес.
Бюджетные средства
6 млн
Количество заявок
3