Регистрация / Вход
Прислать материал

Исследование и внедрение методов проектирования микро- и наноразмерных полупроводниковых элементов с учетом возможностей технологического процесса их изготовления

Стадии проекта
Предложение принято
Конкурс завершен
Проект закончен
Проект
02.740.11.0793
Организация
ФГУ ФНЦ НИИСИ РАН
Руководитель работ
Бетелин Владимир Борисович
Продолжительность работ
2010 - 2012, 31 мес.
Бюджетные средства
8,5 млн
Внебюджетные средства
2,5 млн

Информация отсутствует

Участники проекта

Зам. руководителя работ
Родионов Илья Анатольевич

Этапы проекта

1
24.04.2010 - 31.07.2010
1.1. Анализ современного состояния и тенденций развития технологических операций проекционной литографии при производстве КМОП структур.
1.2. Анализ теоретических основ работы МОП-транзисторов с коротким каналом.
Развернуть
2
01.08.2010 - 15.11.2010
2.1. Математические модели и алгоритмы оптимизации процессов проекционной литографии.
2.2. Калибровка моделей TCAD и расчет МДП-транзисторов в нормальных условиях эксплуатации.
Развернуть
3
01.01.2011 - 31.07.2011
3.1. Обобщение и оценка результатов анализа и поисковых исследований применения методов проектирования микро- и наноразмерных структур с учетом возможностей технологического процесса их изготовления.
3.2. Разработка плана проведения теоретических и экспериментальных исследований методов проектирования микро- и наноразмерных структур с учетом возможностей технологического процесса их изготовления
Развернуть
4
01.08.2011 - 15.11.2011
4.1. Моделирование температурных и радиационных воздействий в системе САПР TCAD.
4.2. Разработка тестового шаблона для калибровки моделей литографии и травления критических слоев.

4.3. Калибровка моделей литографии и травления для критических слоев.
Развернуть
5
01.01.2012 - 31.07.2012
5.1. Разработка процедуры коррекции топологии кристаллов.
5.2. Экспериментальная апробация разработанных конструкторско-технологических методов на функционально законченных тестовых блоках.
Развернуть
6
01.08.2012 - 05.11.2012
6.1. Разработка и оптимизация конструкций микро- и наноразмерных КМОП структур для обеспечения требуемых параметрами.
6.2. Экстракция SPICE-параметров микро- и наноразмерных КМОП структур.
6.3. Разработка программы внедрения результатов НИР в образовательный процесс.
Развернуть

Программа

Программа "Научные и научно-педагогические кадры инновационной России" на 2009 - 2013 годы

Программное мероприятие

1.1 Проведение научных исследований коллективами научно-образовательных центров
Продолжительность работ
2011 - 2012, 13 мес.
Бюджетные средства
3 млн
Организация
ФИАН
профинансировано
Тема
Проведение поисковых исследований для разработки наноразмерных элементов энергонезависимой фазовой памяти на основе неупорядоченных полупроводников
Продолжительность работ
2013, 2 мес.
Бюджетные средства
16 млн
Количество заявок
5
Тема
Атомные процессы и технологии изготовления твердотельных полупроводниковых наноструктур.
Продолжительность работ
2008, 3 мес.
Бюджетные средства
1,2 млн
Количество заявок
1
Тема
Создание набора эталонных солнечных элементов и аттестованных методик измерений для метрологического обеспечения производства солнечных батарей нового поколения на основе наноразмерных гетероструктур.
Продолжительность работ
2011, 7 мес.
Бюджетные средства
13 млн
Количество заявок
1
Тема
Создание инфраструктурного ресурса – «Инженер-хаб ННС» для высокопроизводительных вычислений в области инженерного анализа и проектирования в наноиндустрии.
Продолжительность работ
2011, 2 мес.
Бюджетные средства
12 млн
Количество заявок
1
Тема
Разработка методов изготовления наноразмерных светоизлучающих гетероструктур для светодиодов ближнего ультрафиолетового диапазона.
Продолжительность работ
2008 - 2009, 14 мес.
Бюджетные средства
20 млн
Количество заявок
2