Регистрация / Вход
Прислать материал

Разработка, создание и исследование полосковых и столбчатых GaN-гетероструктур с применением наноимпринт-литографии

Стадии проекта
Предложение принято
Конкурс завершен
Проект закончен
Проект
02.740.11.0794
Организация
МИЭТ
Руководитель работ
Неволин Владимир Кириллович
Продолжительность работ
2010 - 2012, 31 мес.
Бюджетные средства
9 млн
Внебюджетные средства
1,8 млн

Информация отсутствует

Этапы проекта

1
24.04.2010 - 31.07.2010
1.1. Проведение патентных исследований по ГОСТ 15.011-96.
1.2. Анализ научно-технической литературы, нормативно-технической документации и других материалов, относящихся к разрабатываемой теме
1.3.Разработка лабораторной технологии выращивания структур с заданными параметрами на установке молекулярно-лучевой эпитаксии.
Развернуть
2
01.08.2010 - 15.11.2010
2.1. Разработка лабораторной технологии получения наноразмерного рисунка на установке наноимпринт-литографии.
2.2. Отработка технологических операций по выращиванию структур с заданными параметрами на установке молекулярно-лучевой эпитаксии.
2.3. Отработка технологических операций по формированию наноразмерного рисунка с помощью наноимпринт-литографии.
2.4.Разработка методики контроля параметров наноструктур на основе высоковакуумной зондовой микроскопии в НТК НаноФаб.
Развернуть
3
01.01.2011 - 31.07.2011
3.1. Изготовление макетов наноразмерных элементов СВЧ электроники с помощью наноимпринт-литографии и молекулярно-лучевой эпитаксии.
3.2. Проведение необходимых измерений и исследований параметров выращенных слоев. Сопоставление ожидаемых показателей.
3.3. Корректировка необходимых параметров гетероструктур с учетом приборного моделирования.
Развернуть
4
01.08.2011 - 15.11.2011
4.1. Проведение необходимых измерений и исследований параметров макетов, полученных с помощью наноимпринт-литографии. Сопоставление ожидаемых показателей.
4.2. Обобщение результатов предыдущих этапов работ.
4.3. Оценка полноты решения задач и эффективности полученных результатов в сравнении с современным научно-техническим уровнем.
4.4. Разработка методики контроля параметров наноструктур на основе ионной и электронной микроскопии в НТК НаноФаб.
Развернуть
5
01.01.2012 - 31.07.2012
5.1. Корректировка параметров и дополнительные исследования по технологии создания наноразмерных элементов СВЧ электроники с помощью методов молекулярно-лучевой эпитаксии и наноимпринт-литографии.
5.2. Усовершенствование методов наноимпринт литографии для формирования столбчатых структур.
Развернуть
6
01.08.2012 - 05.11.2012
6.1. Разработка технологического маршрута изготовления полосковых и столбчатых GaN-гетероструктур с применением наноимпринт-литографии.
6.2. Оценка возможности создания конкурентоспособной продукции и разработка рекомендаций по использованию результатов проведенной НИР
6.3. Разработка программы внедрения результатов НИР в образовательный процесс.
6.4. Разработка устройства позиционирования образца в системе с ионным пучком.
Развернуть

Программа

Программа "Научные и научно-педагогические кадры инновационной России" на 2009 - 2013 годы

Программное мероприятие

1.1 Проведение научных исследований коллективами научно-образовательных центров
Продолжительность работ
2010 - 2012, 26 мес.
Бюджетные средства
4,5 млн
Организация
ИСОИ РАН
профинансировано
Продолжительность работ
2011 - 2013, 29 мес.
Бюджетные средства
1,5 млн
Организация
ИПФ РАН
профинансировано
Продолжительность работ
2011 - 2012, 12 мес.
Бюджетные средства
14 млн
профинансировано
Тема
Разработка технологии получения высокочистых безметалльных проявителей для литографии.
Продолжительность работ
2011 - 2012, 15 мес.
Бюджетные средства
20 млн
Количество заявок
2
Тема
Исследование механизмов и разработка методов создания регулярных многоуровневых микро- и наноразмерных столбчатых структур и исследование их свойств («сухой» адгезии)
Продолжительность работ
2013, 2 мес.
Бюджетные средства
12 млн
Количество заявок
3
Тема
Исследование принципов и разработка технологий для создания установок передовой нано-литографии.
Продолжительность работ
2013, 6 мес.
Бюджетные средства
50 млн
Количество заявок
10
Тема
«Исследование перспективных конструкций и технологических принципов формирования оптоэлектронных структур и приборов нового поколения (микрофотонные комплексированные системы на основе кремния)».
Продолжительность работ
2012 - 2013, 18 мес.
Бюджетные средства
14 млн
Количество заявок
1
Тема
Разработка методов изготовления наноразмерных светоизлучающих гетероструктур для светодиодов ближнего ультрафиолетового диапазона.
Продолжительность работ
2008 - 2009, 14 мес.
Бюджетные средства
20 млн
Количество заявок
2