Исследование и разработка ионных ускорителей на основе разряда в скрещенных электрическом и магнитном полях, предназначенных для модификации поверхности и создания новых наноматериалов

1.1 Выбор и обоснование принятого направления исследований.
1.2 Разработка общей методики проведения исследований.
1.3 Разработка конструкции макета ИУК с регулируемым ускоряющим напряжением от 0,1 до 30 кВ.
1.4 Изготовление макета ИУК.
1.5 Экспериментальная отработка фокусирующей системы, позволяющей наносить покрытия на мишени различного диаметра (10-100 мм)
1.6. Снятие электрических характеристик макетных образцов силовых полупроводниковых приборов с защитными фасками, нанесенными методом ионной имплантации».

2.1 Разработка конструкции макета ИУ, формирующего радиально- расходящийся поток ионов (ИУРР) с ускоряющим напряжением от 0,1 до 30кВ.
2.2 Изготовление и отладка макета ИУРР.
2.3 Эксперименты по модификации внутренних поверхностей образцов.
2.4 Адаптация аналитических установок для диагностики образцов.
2.5 Отладка безмасляной вакуумной системы стенда «МИР-100»

3.1 Проведение патентных исследований по ГОСТ Р15.011-96.
3.2 Разработка конструкции макета ИУРС, с регулируемым ускоряющим напряжением от 0,1 до 30кВ.
3.3 Изготовление макета ИУРС, с регулируемым ускоряющим напряжением от 0,1 до 30кВ.
3.4 Разработка системы оптической диагностики для ИУРС.
3.5. Изготовление мишеней и держателей мишеней для испытания в потоке ИУРС.

4.1 Исследования энергетического спектра потока ионов с помощью электростатического анализатора.
4.2 Разработка методов нанесения наноструктурированных покрытий.
4.3 Разработка методов наноструктурированной модификации поверхностных слоев.
  4.4 Диагностика свойств нанесенных покрытий и модифицированных слоев различными методами.
4.5. Разработка конструкции устройства для снятия энергетического спектра потока, калориметрическим методом

5.1 Разработка конструкции макета ПИУ, с шириной ускоренного потока 150 мм.
5.2 Изготовление макета ПИУ, с шириной ускоренного потока 150 мм.
5.3 Анализ связи между режимами работы ИУРР, ИУРС и характеристиками нанесенных покрытий.
5.4. Изготовление устройства для снятия энергетического спектра потока, калориметрическим методом

6.1 Экспериментальная отработка ПИУ.
6.2 Разработка технологии нанесения нанопокрытий на мишени в непрерывном технологическом процессе с помощью ПИУ.
6.3 Анализ экспериментальных режимов работы ИУ различной геометрии.
6.4 Диагностика свойств нанесенных покрытий и модифицированных слоев различными методами.
6.5. Разработка программы внедрения результатов НИР в образовательный процесс.
6.6. Снятие энергетического спектра тяжелых частиц в потоке, формируемом ПИУ калориметрическим методом