Регистрация / Вход
Прислать материал

Исследование конструктивно-технологических методов создания миниатюрных преобразователей давления на КНИ-структуре с наноэлементами для интеллектуальных микросистем управления

Стадии проекта
Предложение принято
Конкурс завершен
Проект закончен
Проект
02.740.11.0804
Продолжительность работ
2010 - 2012, 30 мес.
Бюджетные средства
9 млн
Внебюджетные средства
1,8 млн

Информация отсутствует

Участники проекта

Зам. руководителя работ
Батурин Андрей Сергеевич
Зам. руководителя работ
Годовицын Игорь Валерьевич

Этапы проекта

1
24.04.2010 - 31.07.2010
1.1. Проведение аналитического обзора тенденций развития перспективных миниатюрных преобразователей давления.
1.2. Выбор и обоснование конструктивно-технологических методов создания миниатюрных преобразователей давления на КНИ-структуре с наноэлементами.
1.3. Разработка математической модели чувствительного элемента миниатюрного преобразователя давления.
1.4. Проведение патентных исследований.
Развернуть
2
01.08.2010 - 15.11.2010
2.1. Разработка методов контроля механических напряжений в диэлектрических пленках.
2.2. Разработка конструкции и технологии изготовления тестовых микромеханических структур.
2.3. Создание оснастки для исследования экспериментальных образцов преобразователя давления на КНИ-структуре с наноэлементами.
Развернуть
3
01.01.2011 - 31.07.2011
3.1. Изготовление экспериментальных образцов преобразователя давления на КНИ-структуре с наноэлементами.
3.2. Создание измерительных и вычислительных блоков макета испытательного стенда для измерений характеристик интеллектуальной микросистемы измерения давления.
Развернуть
4
01.08.2011 - 15.11.2011
4.1. Разработка макета испытательного стенда для измерения характеристик интеллектуальной микросистемы измерения давления.
4.2. Разработка методики измерения параметров преобразователей давления.
4.3. Предварительные исследования экспериментальных образцов миниатюрных преобразователей давления.
Развернуть
5
01.01.2012 - 31.07.2012
5.1. Разработка и изготовление макета интеллектуальной микросистемы измерения давления.
5.2. Разработка эскизной конструкторской документации на макет интеллектуальной микросистемы измерения давления.
5.3. Исследование характеристик интеллектуальной микросистемы измерения давления.
5.4. Модернизация макета испытательного стенда для измерения характеристик интеллектуальной микросистемы измерения давления.
Развернуть
6
01.08.2012 - 01.10.2012
6.1. Обобщение результатов предыдущих этапов работы. Оценка полноты решения задач и эффективности полученных результатов в сравнении с современным научно-техническим уровнем.
6.2. Оценка возможности создания конкурентоспособной продукции и разработка рекомендаций по использованию результатов проведенной НИР. Проведение технико-экономической оценки полученных результатов.
6.3. Разработка программы внедрения результатов НИР в образовательный процесс.
Развернуть

Программа

Программа "Научные и научно-педагогические кадры инновационной России" на 2009 - 2013 годы

Программное мероприятие

1.1 Проведение научных исследований коллективами научно-образовательных центров
Продолжительность работ
2012 - 2013, 14 мес.
Бюджетные средства
2,39 млн
профинансировано
Тема
Разработка базовых серийных технологий изделий микроэлектроники: микроэлектронных устройств различных типов (кремниевый резонансный преобразователь давления)
Продолжительность работ
2011 - 2012, 17 мес.
Бюджетные средства
0 млн
Количество заявок
0
Тема
Исследование и разработка способов изготовления беспроводных микросистем измерения температуры, давления, вибрации.
Продолжительность работ
2005 - 2006, 23 мес.
Бюджетные средства
6 млн
Количество заявок
2
Тема
Исследование перспективных конструкций и технологических принципов формирования оптоэлектронных приборов нового поколения (микросистема для прямого оптического тепловидения)
Продолжительность работ
2013 - 2015, 25 мес.
Бюджетные средства
18,4 млн
Количество заявок
1
Тема
Исследование перспективных типов сверхвысокочастотных приборов и структур, разработка технологических принципов их изготовления (интеллектуальный доплеровский СВЧ модуль).
Продолжительность работ
2014 - 2015, 20 мес.
Бюджетные средства
12,6 млн
Количество заявок
1
Тема
Разработка и постановка базовой технологии опытного производства электронных сенсоров на основе нано- и микросистем для комплексной автоматизации и управления в теплоэнергетике.
Продолжительность работ
2009 - 2011, 28 мес.
Бюджетные средства
90 млн
Количество заявок
2