Разработка конструктивно-технологических основ для формирования наноструктурированных материалов, применимых в технологии межсоединений современных СБИС и элементов вакуумной электроники.

1.1. Подготовка аналитичес-
кого обзора научно-
технических источников по
имеющимся разработкам в об-
ласти создания межсоедине-
ний современных СБИС и
элементов вакуумной элект-
роники на основе УНТ.
1.2. Выбор и обоснование
наиболее перспективных
вариантов конструкций
элементов вакуумной
электроники.
1 .3 . Подготовка макета для
проведения эмиссионных
исследований.
1.4. Проведение
исследования возможности
осаждения массивов УНТ
различной высоты и топологии
на поверхности образцов для
последующих испытаний.
1 .5. Проведение научно-
практического семинара по
тематике НИР.

2. 1 . Исследование возмо-
жности формирования на
поверхности кремниевых
пластин наносгруктурирован-
ных массивов различной
высоты.
2.2. Оптимизация параметров
наноструктурированных
массивов УНТ в качестве
источников эмиссии.
2.3. Проведение электро-
физических испытаний
массивов УНТ в качестве
проводников.
2.4. Проведение
исследования и анализа
параметров изготовленных
образцов.
2.5. Разработка программы
внедрения результатов НИР в
образовательный процесс.
2.6. Проведение научно-
практического семинара по
тематике НИР.