Разработка конструктивно-технологических основ для формирования наноструктурированных материалов, применимых в технологии межсоединений современных СБИС и элементов вакуумной электроники.
Стадии проекта
Предложение принято
Конкурс завершен
Проект закончен
Проект
02.740.11.5110
Организация
НПК "Технологический центр"
Руководитель работ
Кузнецов Владимир Иванович
Продолжительность работ
2009 - 2010, 11 мес.
Бюджетные средства
3,6 млн
Внебюджетные средства
0 млн
Информация отсутствует
Участники проекта
Зам. руководителя работ
Галперин Вячеслав Александрович
Этапы проекта
1
05.10.2009 - 15.12.2009
1.1. Подготовка аналитичес-
кого обзора научно-
технических источников по
имеющимся разработкам в об-
ласти создания межсоедине-
ний современных СБИС и
элементов вакуумной элект-
роники на основе УНТ.
1.2. Выбор и обоснование
наиболее перспективных
вариантов конструкций
элементов вакуумной
электроники.
1 .3 . Подготовка макета для
проведения эмиссионных
исследований.
1.4. Проведение
исследования возможности
осаждения массивов УНТ
различной высоты и топологии
на поверхности образцов для
последующих испытаний.
1 .5. Проведение научно-
практического семинара по
тематике НИР.
кого обзора научно-
технических источников по
имеющимся разработкам в об-
ласти создания межсоедине-
ний современных СБИС и
элементов вакуумной элект-
роники на основе УНТ.
1.2. Выбор и обоснование
наиболее перспективных
вариантов конструкций
элементов вакуумной
электроники.
1 .3 . Подготовка макета для
проведения эмиссионных
исследований.
1.4. Проведение
исследования возможности
осаждения массивов УНТ
различной высоты и топологии
на поверхности образцов для
последующих испытаний.
1 .5. Проведение научно-
практического семинара по
тематике НИР.
2
01.01.2010 - 20.09.2010
2. 1 . Исследование возмо-
жности формирования на
поверхности кремниевых
пластин наносгруктурирован-
ных массивов различной
высоты.
2.2. Оптимизация параметров
наноструктурированных
массивов УНТ в качестве
источников эмиссии.
2.3. Проведение электро-
физических испытаний
массивов УНТ в качестве
проводников.
2.4. Проведение
исследования и анализа
параметров изготовленных
образцов.
2.5. Разработка программы
внедрения результатов НИР в
образовательный процесс.
2.6. Проведение научно-
практического семинара по
тематике НИР.
жности формирования на
поверхности кремниевых
пластин наносгруктурирован-
ных массивов различной
высоты.
2.2. Оптимизация параметров
наноструктурированных
массивов УНТ в качестве
источников эмиссии.
2.3. Проведение электро-
физических испытаний
массивов УНТ в качестве
проводников.
2.4. Проведение
исследования и анализа
параметров изготовленных
образцов.
2.5. Разработка программы
внедрения результатов НИР в
образовательный процесс.
2.6. Проведение научно-
практического семинара по
тематике НИР.
Программа
Программа "Научные и научно-педагогические кадры инновационной России" на 2009 - 2013 годы
Программное мероприятие
1.5 Проведение научных исследований коллективами под руководством приглашенных исследователей
Продолжительность работ
2010 - 2012, 30 мес.
Бюджетные средства
2,5 млн
Организация
ФТИ им. А.Ф.Иоффе
профинансировано
Продолжительность работ
2007 - 2008, 18 мес.
Бюджетные средства
10 млн
Организация
Физический факультет МГУ
профинансировано
Продолжительность работ
2011 - 2013, 19 мес.
Бюджетные средства
244,8 млн
Организация
МГТУ им. Н.Э.Баумана
профинансировано
профинансировано
Продолжительность работ
2009 - 2010, 12 мес.
Бюджетные средства
20 млн
профинансировано