Регистрация / Вход
Прислать материал

Разработка, моделирование и экспериментальное исследование многослойных полупроводниковых структур и приборов опто-, микроэлектроники и микросистемной техники

Стадии проекта
Предложение принято
Конкурс завершен
Проект закончен

Информация отсутствует

Этапы проекта

1
27.08.2009 - 25.11.2009
2
01.01.2010 - 30.10.2010
3
01.01.2011 - 30.08.2011

Программа

Программа "Научные и научно-педагогические кадры инновационной России" на 2009 - 2013 годы

Программное мероприятие

1.2.2 Проведение научных исследований научными группами под руководством кандидатов наук
Проведение поисковых научно-исследовательских работ в целях развития общероссийской мобильности: 1.Исследование и разработка технологических процессов сборки элементов микромеханических систем. 2.Разработка методики определения параметров и характеристик микромеханических акселерометров маятникового типа. 3.Исследование влияния эксплуатационных факторов на параметры герметичных микромеханических приборов. 4.Исследование параметров и характеристик герметичных микромеханических элементов вибрационного типа. 5.Разработка конструкции и моделирование параметров микромеханического датчика давления резонаторного типа. 6.Исследование и разработка технологии получения стеклообразующих систем для создания элементов микросистемной техники. 7.Исследование влияния наноразмерных элементов на параметры микромеханических систем. 8.Моделирование влияния эксплуатационных факторов на сорбционно-десорбционные процессы внутри герметичных корпусов микросистем. 9.Исследование процессов формирования многослойных микромеханических структур. 10.Изучение процессов переноса и эмиссии в структурах нанометрового диапазона элементов нано- и микросистемной техники.
Продолжительность работ
2009, 0 мес.
Бюджетные средства
1,5 млн
Организация
МИЭТ
профинансировано
Тема
«Разработка технологии производства гетероэпитаксиальных структур на основе карбида кремния и родственных широкозонных полупроводниковых материалов на нанопористых подложках кремния для приборов электроники, микро- и наносистемной техники».
Продолжительность работ
2011 - 2013, 31 мес.
Бюджетные средства
240 млн
Количество заявок
1
Тема
Разработка базовых технологических процессов и оборудования для исследований и опытного производства приборов наноэлектроники, оптоэлектроники и микросистемной техники.
Продолжительность работ
2007 - 2009, 25 мес.
Бюджетные средства
230 млн
Количество заявок
1
Тема
Разработка нанотехнологии и оборудования для синтеза многослойных пленочных структур с трехмерной топологией на полупроводниковых подложках
Продолжительность работ
2005 - 2006, 23 мес.
Бюджетные средства
11,5 млн
Количество заявок
3
Тема
Разработка технологии получения комплекса монокристаллов широкозонных полупроводников для элементной базы оптоэлектроники, дозиметрии, медицинской аппаратуры, приборов досмотровой техники.
Продолжительность работ
2005 - 2006, 23 мес.
Бюджетные средства
10 млн
Количество заявок
3
Тема
Разработка нового класса функциональных полупроводниковых структур на подложках из широкозонных полупроводников и диэлектриков.
Продолжительность работ
2017 - 2018, 14 мес.
Бюджетные средства
27 млн
Количество заявок
0