Регистрация / Вход
Прислать материал

Разработка методов проектирования и создания перспективных многоосевых интегральных микро- и наномеханических гироскопов и акселерометров с использованием плазменных и лазерных технологий поверхностной микрообработки для микрооптоэлектромеханических систем

Стадии проекта
Предложение принято
Конкурс завершен
Проект закончен
Проект
14.575.21.0045

Создание новой продукции и технологий с целью создания конкретного образца (типа изделия, материала) или исследования особенностей его функционирования или применения

Участники проекта

Зам. руководителя работ
Лысенко Игорь Евгеньевич

Этапы проекта

1
30.06.2014 - 31.12.2014
Разработаны математические модели: микромеханического гироскопа с двумя осями чувствительности для диапазона угловых скоростей ± 500 град./с (п.1.5 ПГ), микромеханического акселерометра с тремя осями чувствительности для диапазона линейных ускорений ±10 g (п.1.6 ПГ), наномеханического акселерометра с двумя осями чувствительности для диапазона линейных ускорений ±1 g (п.1.7 ПГ).
Развернуть
2
01.01.2015 - 30.06.2015
Выполнение моделирования многоосевых микромеханических гироскопов, микро- и наномеханических акселерометров по разработанной методике.
Разработка эскизной конструкторской документации на экспериментальный образец многоосевого микромеханического гироскопа
Разработка эскизной конструкторской документации на экспериментальный образец многоосевого микромеханического акселерометра.
Разработка эскизной конструкторской документации на экспериментальный образец многоосевого наномеханического акселерометра.
  Разработка методики изготовления экспериментальных образцов многоосевых микромеханических акселерометров.
  Разработка методики изготовления экспериментальных образцов многоосевых наномеханических акселерометров
Развернуть
3
01.07.2015 - 31.12.2015
Разработаны модели и методика моделирования многоосевых интегральных микромеханических сенсоров для угловых скоростей ± 500 град/с и линейных ускорений ±10 g и наномеханического сенсора для линейных ускорений ±1 g. По результататам моделирования чувствительность микромеханических гироскопа и акселерометра составила не менее 0,5 фФ/g, а наномеханического акселерометра – не менее 10 нА/g. Разработаны комплекты эскизной конструкторской документации, изготовлены экспериментальные образцы многоосевых микромеханического гироскопа, микро- и наномеханических акселерометров с использованием ЦКП и УНУ "Нанотехнологический комплекс с расширенными аналитическими возможностями" и УНУ "Электронный микроскоп с системой электронной литографии". Разработаны комплекты эскизной конструкторской документации и методики изготовления макетов устройств обработки сигналов многоосевых микромеханического гироскопа, микро- и наномеханических акселерометров.
Развернуть
4
01.01.2016 - 30.06.2016
Изготовлены макеты устройств обработки сигналов многоосевых микромеханических гироскопов (диапазон угловых скоростей ± 500 град./с) в количестве 5 шт., акселерометров (диапазон линейных ускорений ±10 g) в количестве 5 шт. и наномеханических акселерометров (диапазон линейных ускорений ±1 g) – 5 шт.
Развернуть
5
01.07.2016 - 31.12.2016
Изготовлены макеты устройств обработки сигналов многоосевых микромеханических гироскопов, акселерометров и наномеханических акселерометров. Разработаны программы, методики испытаний и проведены испытания экспериментальных образцов и макетов устройств обработки сигналов многоосевых микро- и наномеханических гироскопов и акселерометров с использованием ЦКП "Нанотехнологии" Южного федерального университета и испытательной базы Московского института электронной техники. Разработаны лабораторные технологические регламенты по изготовлению экспериментальных образцов многоосевых микро- и наномеханических гироскопов и акселерометров с использованием плазменных и лазерных технологий поверхностной микрообработки. Разработан проект технического задания на ОКР.
Развернуть

Программа

Программа "Исследования и разработки по приоритетным направлениям развития научно-технологического комплекса России на 2014-2020 годы"

Программное мероприятие

1.2 Проведение прикладных научных исследований для развития отраслей экономики
Продолжительность работ
2014 - 2016, 30 мес.
Бюджетные средства
25 млн
Организация
ФТИ им. А.Ф.Иоффе
профинансировано
Продолжительность работ
2014 - 2015, 18 мес.
Бюджетные средства
9,4 млн
Организация
КНИТУ-КАИ
профинансировано
Тема
Конкурсный отбор двухлетних прикладных научных исследований, направленных на создание продукции и технологий, по приоритетному направлению "Науки о жизни" в рамках мероприятия 1.2 Программы.
Продолжительность работ
2014 - 2015, 18 мес.
Бюджетные средства
300 млн
Количество заявок
85
Тема
Конкурсный отбор трехлетних прикладных научных исследований, направленных на создание продукции и технологий, по приоритетному направлению "Науки о жизни" в рамках мероприятия 1.2 Программы.
Продолжительность работ
2014 - 2016, 30 мес.
Бюджетные средства
780 млн
Количество заявок
233
Тема
Конкурсный отбор двухлетних прикладных научных исследований, направленных на создание продукции и технологий, по приоритетному направлению «Индустрия наносистем» в рамках мероприятия 1.2 Программы.
Продолжительность работ
2014 - 2015, 18 мес.
Бюджетные средства
300 млн
Количество заявок
105
Тема
Конкурсный отбор трехлетних прикладных научных исследований, направленных на создание продукции и технологий, по приоритетному направлению «Индустрия наносистем» в рамках мероприятия 1.2 Программы.
Продолжительность работ
2014 - 2016, 30 мес.
Бюджетные средства
780 млн
Количество заявок
249
Тема
Конкурсный отбор двухлетних прикладных научных исследований, направленных на создание продукции и технологий, по приоритетному направлению «Информационно-телекоммуникационные системы» в рамках мероприятия 1.2 Программы.
Продолжительность работ
2014 - 2015, 18 мес.
Бюджетные средства
200 млн
Количество заявок
87