Разработка МИС однокристальных приемо-передающих модулей для диапазона частот 23-25 ГГц на основе нитрида галлия

Проведено математическое моделирование различных вариантов конструкций однокристальных малых интегральных схем (МИС) приемо-передающих модулей диапазона частот 23-25 ГГц. Разработаны требования к техническим характеристикам стенда измерения СВЧ параметров ЭО однокристальных МИС приемо-передающих модулей. Разработана эскизная конструкторская документация стенда для измерения СВЧ параметров ЭО однокристальных МИС приемо-передающих модулей. Проведена доработка технической документации установки плазмохимического осаждения диэлектриков для использования её в качестве установки атомно-слоевого осаждения плёнок в технологическом процессе изготовления однокристальных МИС приемо-передающих модулей.

Разработаны методики по проектированию и моделированию однокристальных монолитных интегральных схем (МИС) приемо-передающих модулей диапазона частот 23-25 ГГц . Разработаны методики измерения сверхвысокочастотных параметров экспериментальных образцов приемо-передающих модулей диапазона частот 23-25 ГГц. Разработана эскизная конструкторская документация на экспериментальные образцы приемо-передающих модулей диапазона частот 23-25 ГГц. Разработан лабораторный технологический регламент изготовления экспериментальных образцов приемо-передающих модулей диапазона частот 23-25 ГГц.

Изготовлены экспериментальные образцы приемо-передающего модуля. Разработаны программа и методики экспериментальных исследований. Разработаны технические требования и предложения по разработке, производству и эксплуатации продукции с учетом технологических возможностей и особенностей индустриального партнера. Разработан проект технического задания на проведение опытно-конструкторских работ. Изготовлен стенд для проведения измерений. Проведен монтаж доработанной установки плазмохимического осаждения диэлектриков. Проведены испытания доработанной установки плазмохимического осаждения диэлектриков.