Создание метрологического комплекса и нормативно-методической базы для обеспечения единства измерений геометрических параметров наноматериалов и продукции наноиндустрии.

Проведен анализ научно-технической литературы, относящейся к разрабатываемой теме.
Проведены патентные исследования по ГОСТ Р 15.011-96.
Разработана концепция метрологического комплекса.
Составлен промежуточный отчет.

Проведен анализ нормативно-технической документации и других материалов, относящихся к разрабатываемой теме.
Разработана номенклатура документации по создаваемому метрологическому комплексу.
Заключен договор с поставщиком на поставку оборудования для научных (экспериментальных) работ, необходимого для решения задач, поставленных в Задании.
Составлен промежуточный отчет.

Произведена закупка оборудования для научных (экспериментальных) работ.
Созданы лабораторные образцы эталонных мер топологии наноструктур.
Созданы лабораторные образцы эталонных мер топологии многослойных структур.
Разработаны методы аттестации эталонных мер.
Разработаны методики выполнения измерений геометрических параметров продукции нанотехнологий (6 шт).
Составлен промежуточный отчет.

Произведена закупка оборудования для научных (экспериментальных) работ.
Проведены пуско-наладочные работы приобретенного оборудования.
Создан лабораторный образец Функционалыюго блока метрологического комплекса, базирующегося на принципах зондовой микроскопии, проведены его испытания.
Создан лабораторный образец Функционального блока метрологического комплекса, базирующегося на принципах рентгеновской дифрактометрии, проведены его испытания.
Разработаны методики калибровки Функциональных блоков метрологического комплекса, базирующихся на принципах зондовой микроскопии и рентгеновской дифрактометрии.
Аттестованы лабораторные образцы Функциональных блоков метрологического комплекса, базирующихся на принципах зондовой микроскопии и рентгеновской дифрактометрии.
Аттестованы разработанные методики выполнения измерений геометрических параметров продукции нанотехнологий (6 шт).
Аттестованы эталонные меры топологии наноструктур (5 шт).
Составлен промежуточный отчет.

1.Закуплено обоорудование для научных (экспериментальных) работ.
2.Проведены пуско-наладачные работы приобретенного оборудования.
3.Создан и испытан лабораторный образец метрологического комплекса на основе растровой и просвечивающей электронной микроскопии, сканирующей зондовой микроскопии, рентгеновской дифрактометрии и лазерной интерферометрии, обеспечивающий воспроизведение, хранение и передачу размера единицы длины в нанометровом и прилегающем к нему диапазонах.
4.Разработаны методики выполнения измерений геометрических параметров продукции нанотехнологий в количестве 12 штук.
5.Составлен промежуточный отчет.

1.Закуплено оборудование для научных (экспериментальных) работ.
2.Проведены пуско-наладачные работы приобретенного оборудования.
3.Разработаны методики калибровки метрологического комплекса.
4.Проведена аттестация разработанных методик выполнения измерений геометрических параметров продукции нанотехнологий в количестве 12 шт.
5.Проведена аттестация метрологического комплекса.
6.Проведена аттестация эталонных мер топологии наноструктур а количестве 6 шт.
7.Разработаны проекты стандартов ГОСТ Р на методы калибровки средств измерений параметров наноструктур и наноматериалов в количестве 2 шт.
8.Разработан комплект нормативно-технических документов по обеспеччиванию единств измерений, выполняемых с помощью метрологического комплекса.
9.Разработаны рекомендации по оснащению эталонными мерами измерительных и аналитических лабораторий, функционирующих в областти нанотехнологий, центров коллективного пользования и научно-образовательных комплексов.