Создание метрологического комплекса и нормативно-методической базы для измерения координат и позиционирования объектов в наноинженерии и наноэлектронике.

Разработана и реализована программа дооснащения создаваемого метрологического комплекса.
Сформирована номенклатура разрабатываемой конструкторской, эксплуатационной, технологической и программной документации.
Проведены мероприятия по анализу состояния и восстановлению технических параметров аппаратурной составляющей создаваемого метрологического комплекса.

Разработаны и аттестованы методики автоматизированного измерения координат большой совокупности нанообъектов и их локальной характеризации в наноинженерии и наноэлектронике.
Создан и аттестован набор эталонных мер с периодическими массивами нанообъектов, обеспечивающих калибровку средств измерения координат объектов и их позиционирования.
Разработаны программные модули специализированного программного обеспечения для сшивки изображений.
Проведено информационно-аналитическое обеспечение работ по созданию средств и методов измерения координат в наноинженерии и наноэлектронике.

Проведены мероприятия по обеспечению единства измерений, выполняемых с помощью измерительного комплекса.
Подготовлен технический отчет.