Регистрация / Вход
Прислать материал

Разработка методов получения монокристаллических алмазных пластин высокой химической чистоты и высокого кристаллического совершенства для рентгеновских монохроматоров и высокотемпературной электроники.

Стадии проекта
Предложение принято
Конкурс завершен
Проект закончен
Проект
16.513.11.3081
Организация
ИОФ РАН
Руководитель работ
Конов Виталий Иванович

Получение отделенных от подложек и неотделенных, высокочистых монокристаллических алмазных пластин высокого кристаллического совершенства для создания высокоэффективных рентгеновских монохроматоров и высокотемпературной электроники.

Соисполнители

Этапы проекта

1
20.04.2011 - 14.07.2011
Разработан технологический процесс получения монокристаллических алмазных слоев газофазного осаждения. Разработан и изготовлен макет однокристального подложкодержателя. Разработан и изготовлен макет оборудования для изготовления монокристаллических алмазных подложек с необходимой кристаллографической ориентацией поверхности.
Развернуть
2
15.07.2011 - 16.12.2011
Разработана лабораторная методика контроля кристаллографической ориентации поверхности пластин-заготовок и подложек для газофазного осаждения. Изготовлены монокристаллические алмазные подложки. Разработаны и изготовлены многокристальние подложкодержатели в камере СВЧ реактора. Разработаны методы крепления подложек в реакционной зоне.
Развернуть
3
01.01.2012 - 30.06.2012
Отработаны процессы подготовки поверхности подложек к газофазному осаждению, не нарушающие кристаллическое совершенство их поверхности. Исследованы технологические процессы газофазного осаждения на большой площади высокочистых монокристаллических слоев высокой степени кристаллического совершенства. Разработана методика лазерного отделения и обработки полученных слоев. Получены и испытаны экспериментальные образцы монокристаллических слоев и пластин. Разработаны лабораторные методики измерения содержания азота и бора в полученных высокочистых монокристаллических CVD-алмазных пластинах и контроля кристаллического совершенства подложек и получаемых CVD-алмазных пластин, включая рентгеновскую топографию и спектроскопию комбинационного рассеянии. Откорректирована ЭКД на макет подложкодержателя по результатам исследований.
Развернуть
4
01.07.2012 - 15.12.2012
Изготовлены экспериментальные образцы неотделенных и отделенных от подложек высокочистых монокристаллических алмазных пластин. Разработаны Программа и методики испытаний экспериментальных образцов неотделенных и отделенных от подложек алмазных пластин. Проведены испытания экспериментальных образцов. Разработаны рекомендации по использованию полученных пластин в качестве базовых элементов рентгеновских монохроматоров. Проведены обобщение и оценка полученных результатов. Разработаны рекомендации по использованию результатов проведенной НИР в реальном секторе экономики, а также в дальнейших исследованиях и разработках.
Развернуть

Программа

Программа "Исследования и разработки по приоритетным направлениям развития научно-технологического комплекса России на 2007-2013 годы"

Программное мероприятие

1.3 Проведение проблемно-ориентированных поисковых исследований и создание научно-технического задела в области индустрии наносистем
Продолжительность работ
2012 - 2013, 13 мес.
Бюджетные средства
1,76 млн
Организация
ФГБНУ ТИСНУМ
профинансировано
Продолжительность работ
2010 - 2012, 31 мес.
Бюджетные средства
2,8 млн
Организация
CПбГЭТУ "ЛЭТИ"
профинансировано
Тема
Разработка методов получения монокристаллических алмазных пластин высокой химической чистоты и высокого кристаллического совершенства для рентгеновских монохроматоров и высокотемпературной электроники.
Продолжительность работ
2011 - 2012, 20 мес.
Бюджетные средства
18,2 млн
Количество заявок
5
Тема
Разработка высокоскоростного выращивания поли- и монокристаллических алмазных пленок и пластин (CVD-технология)
Продолжительность работ
2005 - 2006, 23 мес.
Бюджетные средства
3 млн
Количество заявок
3
Тема
Разработка технологий плазмохимического синтеза нано- и поликристаллических алмазных пленок и пластин большой площади.
Продолжительность работ
2007 - 2009, 26 мес.
Бюджетные средства
135 млн
Количество заявок
1
Тема
Разработка технологий получения и обработки новых пьезоэлектрических монокристаллических материалов, создание на их основе комплекса высокотемпературных датчиков физических величин и организация их опытно-промышленного производства.
Продолжительность работ
2007 - 2009, 26 мес.
Бюджетные средства
150 млн
Количество заявок
0
Тема
Разработка технологии получения легированных структурно совершенных монокристаллов и пластин германия для электроники и солнечной энергетики.
Продолжительность работ
2012 - 2013, 17 мес.
Бюджетные средства
75 млн
Количество заявок
1