Регистрация / Вход
Прислать материал

Создание стандартных образцов состава и свойств многослойных наногетероструктур для метрологического обеспечения измерений профилей состава функциональных покрытий и приборов наноэлектроники на гетероструктурах.

Стадии проекта
Предложение принято
Конкурс завершен
Выполнение этапа проекта
Проект
16.648.12.3022
Организация
ФТИ им. А.Ф.Иоффе
Руководитель работ
Конников Самуил Гиршевич

Создание методик измерений и стандартных образцов состава и свойств многослойных наноразмерных твердотельных гетероструктур для измерений распределения по толщине содержания основных и примесных атомных элементов при производстве многослойных гетероструктур и функциональных покрытий (наноструктур) приборов микро-, опто- и наноэлектроники.

Участники проекта

Зам. руководителя работ
Бер Борис Яковлевич

Этапы проекта

1
31.05.2011 - 17.10.2011
Созданы стандартные образцы состава и свойств многослойных наноразмерных твердотельных гетероструктур на основе твердых растворов GaAs – AlAs со слоями:
- GaAs и (Al,Ga)As наноразмерных толщин,
- GaAs наноразмерных толщин и дельта-слоев (Al,Ga)As с толщинами не более 1 нм,
включающие следующие работы:
Составлено технические задание на разработку стандартных образцов состава и свойств многослойных наноразмерных твердотельных гетероструктур на основе твердых растворов GaAs – AlAs со слоями GaAs и (Al,Ga)As наноразмерных толщин и со слоями GaAs наноразмерных толщин и дельта-слоев (Al,Ga)As с толщинами не более 1 нм:
- составлены разделы технических заданий на разработку СО: «Сведения о новизне и наличии аналогичных типов СО», «Нормируемые метрологические характеристики».
Выполнена разработка программ испытаний стандартных образцов состава и свойств многослойных наноразмерных твердотельных гетероструктур на основе твердых растворов GaAs – AlAs со слоями GaAs и (Al,Ga)As наноразмерных толщин и со слоями GaAs наноразмерных толщин и дельта-слоев (Al,Ga)As с толщинами не более 1 нм:
- разработан проект программы испытаний стандартных образцов;
- согласован проект программы испытаний стандартных образцов с государственным научным метрологическим центром;
- устранены замечания и доработан проект программы испытаний стандартных образцов по результатам согласования.
Проведены работы по формированию материала стандартных образцов состава и свойств многослойных наноразмерных твердотельных гетероструктур на основе твердых растворов GaAs – AlAs со слоями GaAs и (Al,Ga)As наноразмерных толщин и со слоями GaAs наноразмерных толщин и дельта-слоев (Al,Ga)As с толщинами не более 1 нм.
Разработаны методики оценивания неоднородности и стабильности стандартных образцов состава и свойств многослойных наноразмерных твердотельных гетероструктур на основе твердых растворов GaAs – AlAs со слоями GaAs и (Al,Ga)As наноразмерных толщин и со слоями GaAs наноразмерных толщин и дельта-слоев (Al,Ga)As с толщинами не более 1 нм.
  Разработаны методики измерений метрологических характеристик стандартных образцов состава и свойств многослойных наноразмерных твердотельных гетероструктур на основе твердых растворов GaAs – AlAs со слоями GaAs и (Al,Ga)As наноразмерных толщин и со слоями GaAs наноразмерных толщин и дельта-слоев (Al,Ga)As с толщинами не более 1 нм:
- разработаны проекты методик;
- согласованы проекты методик с государственным научным метрологическим центром;
- устранены замечания и доработаны проекты методик по результатам согласования.
Разработканы программы экспериментального или расчетного оценивания характеристик погрешности методики установления метрологических характеристик стандартных образцов состава и свойств многослойных наноразмерных твердотельных гетероструктур на основе твердых растворов GaAs – AlAs со слоями GaAs и (Al,Ga)As наноразмерных толщин и со слоями GaAs наноразмерных толщин и дельта-слоев (Al,Ga)As с толщинами не более 1 нм.:
- разработаны проекты программ оценивания характеристик погрешности;
- согласованы проекты программ оценивания характеристик погрешности с государственным научным метрологическим центром;
- устранены замечания и доработаны проекты программ оценивания характеристик погрешности по результатам согласования.
Развернуть
2
18.10.2011 - 24.12.2011
Созданы стандартные образцы состава и свойств многослойных наноразмерных твердотельных гетероструктур на основе твердых растворов GaAs – AlAs со слоями:
- GaAs и (Al,Ga)As наноразмерных толщин,
- GaAs наноразмерных толщин и дельта-слоев (Al,Ga)As с толщинами не более 1 нм,
2-й этап,
включающее в себя следующие работы:
Проведены работы по экспериментальному или расчетному оцениванию характеристик погрешности методик установления метрологических характеристик стандартных образцов состава и свойств многослойных наноразмерных твердотельных гетероструктур на основе твердых растворов GaAs – AlAs со слоями GaAs и (Al,Ga)As наноразмерных толщин и со слоями GaAs наноразмерных толщин и дельта-слоев (Al,Ga)As с толщинами не более 1 нм в соответствии с программами испытаний.
  Установлены метрологические характеристики стандартных образцов состава и свойств многослойных наноразмерных твердотельных гетероструктур на основе твердых растворов GaAs – AlAs со слоями GaAs и (Al,Ga)As наноразмерных толщин и со слоями GaAs наноразмерных толщин и дельта-слоев (Al,Ga)As с толщинами не более 1 нм в соответствии с программами испытаний
Разработаны и оформлены отчеты об испытаниях по утверждению типа стандартных образцов состава и свойств многослойных наноразмерных твердотельных гетероструктур на основе твердых растворов GaAs – AlAs со слоями GaAs и (Al,Ga)As наноразмерных толщин и со слоями GaAs наноразмерных толщин и дельта-слоев (Al,Ga)As с толщинами не более 1 нм:
- разработаны проекты отчетов;
- согласованы проекты отчетов с государственным метрологическим центром;
- устранены замечания и проведена доработка проектов отчетов по результатам согласования.
Проведена метрологическая экспертиза материалов по разработке стандартных образцов состава и свойств многослойных наноразмерных твердотельных гетероструктур на основе твердых растворов GaAs – AlAs со слоями GaAs и (Al,Ga)As наноразмерных толщин и со слоями GaAs наноразмерных толщин и дельта-слоев (Al,Ga)As с толщинами не более 1 нм в научном методическом центре Государственной службы стандартных образцов состава и свойств веществ и материалов.
Устранены замечания по результатам экспертизы.
Проведена аттестация методик измерения метрологических характеристик стандартных образцов состава и свойств многослойных наноразмерных твердотельных гетероструктур на основе твердых растворов GaAs – AlAs со слоями GaAs и (Al,Ga)As наноразмерных толщин и со слоями GaAs наноразмерных толщин и дельта-слоев (Al,Ga)As с толщинами не более 1 нм государственным научным метрологическим центром.
Разработана техническая и эксплуатационная документация на стандартные образцы состава и свойств многослойных наноразмерных твердотельных гетероструктур на основе твердых растворов GaAs – AlAs со слоями:
- GaAs и (Al,Ga)As наноразмерных толщин;
- GaAs наноразмерных толщин и дельта-слоев (Al,Ga)As с толщинами не более 1 нм.
Разработаны практические рекомендации по использованию созданных стандартных образцов и методик измерений:
- проведены экспериментальные исследования по использованию созданных стандартных образцов при измерениях профилей состава методами оже-электронной спектроскопии, рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии и вторично-ионной масс-спектрометрии;
- разработаны практические рекомендации.
Развернуть

Программа

Программа "Развитие инфраструктуры наноиндустрии в Российской Федерации на 2008 - 2011 годы"

Программное мероприятие

3.1 Мероприятие по развитию методической составляющей системы обеспечения единства измерений в наноиндустрии и безопасности создания и применения объектов наноиндустрии
Тема
Создание стандартных образцов состава и свойств многослойных наногетероструктур для метрологического обеспечения измерений профилей состава функциональных покрытий и приборов наноэлектроники на гетероструктурах.
Продолжительность работ
2011, 6 мес.
Бюджетные средства
6 млн
Количество заявок
1
Тема
Методы и средства метрологического обеспечения измерений пространственных и функциональных характеристик наноразмерных покрытий и гетероструктур.
Продолжительность работ
2011, 6 мес.
Бюджетные средства
19 млн
Количество заявок
1
Тема
Создание методов и средств метрологического обеспечения измерений примесного состава высокочистых веществ и наноматериалов для производства солнечных батарей нового поколения и наноэлектроники.
Продолжительность работ
2011, 6 мес.
Бюджетные средства
12 млн
Количество заявок
1
Тема
Создание методик измерений и стандартных образцов состава и свойств нанопористого модифицированного силикагеля, нанопорошка иридия, суспензий наночастиц серебра для метрологического обеспечения измерений действующих производств наноматериалов.
Продолжительность работ
2011, 7 мес.
Бюджетные средства
9 млн
Количество заявок
1
Тема
Создание метрологического комплекса и нормативно-методической базы для обеспечения единства измерений при оценке соответствия наноструктурных ядерных и функциональных материалов для атомной энергетики.
Продолжительность работ
2008 - 2010, 25 мес.
Бюджетные средства
70 млн
Количество заявок
1