Фотоприемники оптического диапазона на основе функционально интегрированных структур
Институт: Институт новых материалов и нанотехнологий
Кафедра: Кафедра Полупроводниковой электроники и физики полупроводников
Академическая группа: МПЭ-14-1
В настоящее время актуальной проблемой является улучшение энергодинамики фотоприемников оптического диапазона. В данной работе рассматривается новый подход к решению этой проблемы, основанный на использовании функционально интегрированных структур.
Такие структуры позволяют не только улучшить энергодинамику фотоприемников, но и создать новые координатные фотоприемники с рекордными характеристиками по координатной точности не хуже 10 мкм и быстродействием 10 нс.
Разработана близкая к стандартной КМОП технология изготовления функционально интегрированных структур. Проведено макетирование и компьютерное моделирование работоспособности схем считывания информации и схем различных вариантов мультиплексоров. Осуществлена оценка технико-экономических показателей фотоприемников, на основе функционально интегрированных структур.