Регистрация / Вход
Прислать материал

Исследование характеристик полевого элемента Холла с расщепленным истоком

ФИО: Кураков В.А.

Направление: Нанотехнологии

Научный руководитель: к.т.н., доц. Леготина С.А.

Институт: Институт новых материалов и нанотехнологий

Кафедра: Кафедра Полупроводниковой электроники и физики полупроводников

Академическая группа: ППЭ-11-1

Регистрация магнитного поля положена в основу работы разнообразных устройств контроля и управления в различных областях науки и техники. Среди них системы навигации и ориентации, контроля перемещения объектов, бесконтактных измерений электрического тока, магнитовидения и др. В 2013 году было произведено более 3 миллиардов микроэлектронных датчиков магнитного поля. Более того, оценки годового прироста выпуска данных датчиков составляет около 15–18%.

Более 75% выпускаемых датчиков магнитного поля приходятся на долю элементов Холла. Принцип их действия основан на эффекте Холла, т.е. на возникновении поперечной разности потенциалов в проводнике, по которому протекает электрический ток, при одновременном воздействии поперечного по отношению к направлению тока магнитного поля. При всем разнообразии конструкций датчиков Холла (ДХ) и технологий их изготовления, все они на данный момент представляют собой пассивные регистраторы внешнего воздействия, не обладающие свойствами внутреннего усиления полезного сигнала. В данной работе рассматривается новый тип преобразователя магнитного поля – полевой датчик Холла на основе структуры «кремний-на-изоляторе» (КНИ ПДХ, рисунок 1), обеспечивающий не только регистрацию магнитного сигнала, но и возможности управления величиной сигнала. Основные характеристики (магниточувствительность, радиационная стойкость, диапазон рабочих температур) и схемотехнические возможности КНИ ПДХ существенно превосходят традиционные элементы Холла.

Рисунок 1 – Конструкция КНИ ПДХ