Регистрация / Вход
Прислать материал

Исследование рельефа поверхности с помощью Alpha-Step IQ Surface profiler ASIQ фирмы KLA-Tencor

ФИО: Бадмаева Г. Н.

Направление: Материаловедение

Научный руководитель: к.ф.м.н. Подгорный Дмитрий Андреевич

Институт: Институт новых материалов и нанотехнологий

Кафедра: Кафедра Материаловедения полупроводников и диэлектриков

Академическая группа: МПП-11-1

Рельеф поверхности представляет одну из важных геометрических характеристик качества поверхности изделий и влияет на эксплуатационные показатели: при использовании прибора или детали, внешним воздействиям подлежит поверхность данного изделия. Износ трущихся поверхностей, физические дефекты в виде трещин, вмятин, химические дефекты в виде коррозии и эрозии и прочие разрушения – это процессы, происходящие на поверхности деталей и в некотором прилегающем к поверхности слое. Для твердотельной электроники рельеф поверхности имеет большое влияние, поскольку основой технологии формирования рабочих структур является технология получения гетероструктур эпитаксиальных слоев. В работе рассматривается механический контактный метод: метод предусматривает измерение параметров шероховатости с помощью зондовых приборов (профилометров и профилографов). Профилометр Alpha-Step IQ Surface profiler ASIQ фирмы KLA-Tencor предназначен для измерения рельефа поверхности при прохождении по ним индентора. Отличительной чертой этого прибора является способность измерять микрошероховатость с разрешением до 0,1 нм, как на коротких дистанциях сканирования, так и при сканированиях на длинах до 10 мм. Управление прибором, анализ и обработка полученных данных осуществляется с помощью компьютера, что позволяет уменьшить влияние факторов неплоско-параллельности и изгиба поверхности образцов. Исследовались пластины кремния после различной степени обработки абразивными материалами. Разработана методика измерения шероховатости поверхности (базовая длина, скорость сканирования, оптимальное количество измерений и др.). Кроме макрошероховатости, проводился анализ и микрошероховатости поверхности. Установлены закономерности влияния свойств абразивного материала на шероховатость поверхности кремниевых пластин.