Оптимизация параметров процесса формирования электродного покрытия кварцевых резонаторов

Работа посвящена решению проблем оптимизации параметров процесса формирования электродного покрытия кварцевых резонаторов и повышению качества производства кварцевых резонаторов в широком диапазоне частот от нескольких тысяч кило-герц до сотен мегагерц. Будет произведена оценка влияния толщины электродного покрытия под настройку на уход по частоте в интервале рабочих температур, добротность и долговременную стабильность частоты кварцевых резонаторов.

Эти изделия широко востребованы для различных видов радиоэлектронной аппаратуры, приборов и устройств космического, военного и гражданского назначения. Миниатюризация, повышение надежности, добротности, стабильности частоты и сопротивления при высоких уровнях внешних воздействий (удары, вибрации, температуры, радиация и др.) сегодня являются важнейшими требованиями для обеспечения развития производства и потребления кварцевых резонаторов, используемых в приборостроении, автоматике, специальной технике, метрологии, изделиях широкого потребления. Мировое потребление пьезоэлектрических резонаторов сегодня оценивается миллиардами штук в год.

Проводимые в рамках настоящей работы исследования посвящены одной из наиболее важных проблем – совершенствование параметров процесса формирования электродного покрытия пьезоэлементов, которое обеспечит повышение надежности и качества кварцевых резонаторов.

Модернизация технологических процессов, использование новейших видов производственного и метрологического оборудования, применение автоматических средств в различных производственных процессах и измерениях позволяют оптимизировать технологию производства изделий и повысить достоверность используемых методов оценки качества и эксплуатационной надежности изделий пьезотехники.

В работе приводятся экспериментально-теоретические исследования методов обеспечения высокой надежности пьезоэлектрических резонаторов, повышения процента выхода годной продукции, проводится статистический анализ и оценка достоверности измерений. Анализируются состояние технологического оборудования. Приводится большой статистический материал.

Таким образом, актуальность работы определяется необходимостью всестороннего анализа методов повышения качества и надежности кварцевых пьезорезонаторов, а также вызвана растущей сложностью и объемами производства изделий акустоэлектроники.