Регистрация / Вход
Прислать материал

Разработка компьютерной модели Оже-спектрометра PHI-680 «Physical Electronics»

ФИО: Халдеев И.А.

Направление: Материаловедение

Научный руководитель: доц. Юрчук Сергей Юрьевич

Институт: Институт новых материалов и нанотехнологий

Кафедра: Кафедра Полупроводниковой электроники и физики полупроводников

Академическая группа: ППЭ-11-1

Главной целью данной работы является создание тренинговой системы Оже-спектрометра PHI-680, которая требуется для того, чтобы проводить занятия, как для студентов, так и для слушателей программ дополнительного профессионального образования, в том числе и в режиме дистанционного обучения.

В подавляющем большинстве методов анализа поверхности используются различного рода явления, происходящие при воздействии на нее корпускулярных частиц и электромагнитных излучений. Если такого рода воздействия приводят, например, к испусканию электронов, а информацию о свойствах поверхности получают при анализе электронных спектров, то говорят о методах электронной спектроскопии. Среди всех электронно-спектроскопических методик особое место занимает оже-электронная спектроскопия (ОЭС), которая, является самой распространенной методикой.

Оже-спектрометр PHI-680 является новейшей, высокоэффективной системой предназначенной для анализа и предоставления информации об элементном составе поверхности образца, субмикронных элементах, тонких пленках и интерфейсах. Электронная оптика прибора на полевой эмиссии обладает пространственным разрешением менее 10 нм, что позволяет в короткие сроки получать изображения высокого разрешения субмикронных элементов во вторичных электронах и выбрать область анализа. Оже-спектрометр способен определить любые элементы в приповерхностных слоях образца, кроме H и He.

Компьютерная тренинговая система требуется для обучения, как студентов, так и научных сотрудников с целью повышения квалификации и при подготовке к работе непосредственно с экспериментальными установками. Необходимость создания таких тренинговых систем обусловлена тем, что современное высшее образование предполагает подготовку специалистов-практиков, имеющих навыки работы с оборудованием, а также для экспериментального закрепления пройденного материала. Преимущества такого метода обучения очевидны: непосредственное визуальное представление воспринимается пользователем лучше, чем попытка словесного описания, даже при помощи таблиц и схем. Обучающийся имеет возможность получать навыки работы с реальным оборудованием без риска привести его в нерабочее состояние.