Регистрация / Вход
Прислать материал

Разработка компьютерной модели электронного оже-спектрометра TP PHI-680 фирмы Physical Electronics (США) для виртуальной лаборатории. Моделирование высоковакуумных блоков

ФИО: Неустроева Н.И.

Направление: Нанотехнологии

Научный руководитель: к.ф.-м.н., доц. Юрчук Сергей Юрьевич

Институт: Институт новых материалов и нанотехнологий

Кафедра: Кафедра Полупроводниковой электроники и физики полупроводников

Академическая группа: ППЭ-11-1

Оже-спектрометр PHI-680 является новейшей, высокоэффективной системой, предназначенной для анализа и предоставления информации об элементном составе поверхности образца, субмикронных элементах, тонких пленках и интерфейсах. В данной работе была разработана компьютерная модель электронного оже-спектрометра PHI-680 фирмы Physical Electronics (США). Моделирование установки и ее элементов управления осуществлялось на программе трехмерной графики 3 DS MAX Design. Такая компьютерная тренинговая система требуется для обучения, как студентов, так и научных сотрудников с целью повышения квалификации и при подготовке к работе непосредственно с экспериментальными установками. Внедрение разрабатываемой компьютерной системы позволит обеспечить:

• обучение принципам и методикам оже-спектрометрии;

• обучения практическим навыкам работы с измерительной установкой оже-спектрометра;

• отработку обучающимися самостоятельно и/или в лаборатории практических навыков работы с реальным оборудованием;

• приобретение практических навыков работы на сложном технологическом оборудовании;

• понимание сути происходящих процессов путем проведения имитационных экспериментов;

• наглядное представление учебного материала средствами компьютерной графики;

• использование инновационных технологий в обучении;

• улучшение восприятия учебного материала в составе курса.