Разработка технологии синтеза нового класса металлсодержащих кремний-углеродных многофункциональных пленок для создания приборов нового поколения, обладающих повышенной устойчивостью к воздействию окружающей среды.

Проведены патентные исследования. Изготовлена экспериментальная установка для синтеза пленок, разработаны методы прецизионной вариации и контроля главных технологических параметров (температора и потенциал смещения на подожке, параметров плазмы). Проведены технологические исследования, разработан базовый вариант технологического процесса синтеза металлосодержащих кремний-углеродных многофункциональных пленок, однослойного и многослойного вариантов. Разработан комплект предварительной технологической документации в составе:Операционной карты технологического процесса осаждения металлсодержащих кремний-углеродных многофункциональных пленок; Операционной карты технологического процесса плазменного осаждения металлсодержащих кремний-углеродных многофункциональных пленок; Технических условий на экспериментальные образцы металлсодержащих кремний-углеродных многофункциональных пленок. Изготовлена экспериментальная партия проводящих кремний-углеродных пленок, содержащих металл (вольфрам, хром, титан). Разработаны программа и методика исследовательских испытаний экспериментальной партии пленок, в соответствии с которыми проведены исследовательские испытания.

Изучена атомная структура и структура химических связей, разрабатываемых пленок, возможности воздействия на них варьированием параметров плазмы, изучены структурно чувствительных параметры пленки.
Разработаны технологические методы направленного изменения структуры.
Изготовлена экспериментальная партия диэлектрических кремний-углеродных пленок, содержащих алюминий..
Разработана программа и методики исследовательских испытаний экспери-ментальной партии пленок.
Проведены исследовательске испытания экспериментальной партии пленок.
Подготовлен состав технологической документации.

Разработаны нескольких специализированных процессов (пленка-диэлектрик, пленка-проводник, пленка-антифрикционное покрытие, пленка для защиты поверхности от воздействия окружающей среды, многослойные пленки) с оптимизацией свойств пленки под конкретную задачу. Разработана рабочая технологическая документация (ТД). Разработан проект технических условий (ТУ) на новый класс пленок.Изготовлена опытная партия, металлсодержащих кремний-углеродных многофункциональных пленок. Разработаны программа и методики (ПМ) предварительных испытаний опытной партии пленок. Проведены предварительные испытания. Корректировка ТД и проекта ТУ по результатам предварительных испытаний не потребовалась. Разработана программа и методики (ПМ) приемочных испытаний опытной партии пленок. Проведены приемочные испытания. Корректировка ТД и проекта ТУ по результатам приемочных испытаний не потребовалась.Утверждены ТУ. Изготовлены лабораторные образцы устройств, использующих синтезированные многофункциональные пленки (переменные резисторы и резисторы большой мощности, датчики перемещений, температуры и тензодатчики, конденсаторы большой емкости). Разработана программа и методики (ПМ) исследовательских испытаний лабораторных образцов устройств. Проведены исследовательские испытания.
Разработаны предложения по продолжению ОКР и ОТР в направлении развития тематики настоящего проекта; подготовлены типовые технические задания на ОКР по развитию базы технологического оборудования и ОТР по развитию технологии.