Регистрация / Вход
Прислать материал

Разработка технологии синтеза нового класса металлсодержащих кремний-углеродных многофункциональных пленок для создания приборов нового поколения, обладающих повышенной устойчивостью к воздействию окружающей среды.

Стадии проекта
Предложение принято
Конкурс завершен
Выполнение этапа проекта
Проект
02.435.11.2016
Организация
НИТУ "МИСиС", МИСиС

разработка технологии и создание экспериментального оборудования для синтеза металлсодержащих кремний-углеродных пленок с высокой адгезией к широкому ряду материалов и управляемо изменяемыми в большом диапазоне механическими (твердость от 10 до 40 ГПа, коэффициент трения пленка – металл от 0,05 до 0,15) и электрофизическими (электропроводность от 1014 до 10-4 Ом . см) параметрами, стойких к воздействию окружающей среды

Соисполнители

Организация
ФГБОУ ВО "НИУ "МЭИ"

Этапы проекта

1
08.08.2005 - 08.12.2005
Проведены патентные исследования. Изготовлена экспериментальная установка для синтеза пленок, разработаны методы прецизионной вариации и контроля главных технологических параметров (температора и потенциал смещения на подожке, параметров плазмы). Проведены технологические исследования, разработан базовый вариант технологического процесса синтеза металлосодержащих кремний-углеродных многофункциональных пленок, однослойного и многослойного вариантов. Разработан комплект предварительной технологической документации в составе:Операционной карты технологического процесса осаждения металлсодержащих кремний-углеродных многофункциональных пленок; Операционной карты технологического процесса плазменного осаждения металлсодержащих кремний-углеродных многофункциональных пленок; Технических условий на экспериментальные образцы металлсодержащих кремний-углеродных многофункциональных пленок. Изготовлена экспериментальная партия проводящих кремний-углеродных пленок, содержащих металл (вольфрам, хром, титан). Разработаны программа и методика исследовательских испытаний экспериментальной партии пленок, в соответствии с которыми проведены исследовательские испытания.
Развернуть
2
01.01.2006 - 30.06.2006
Изучена атомная структура и структура химических связей, разрабатываемых пленок, возможности воздействия на них варьированием параметров плазмы, изучены структурно чувствительных параметры пленки.
Разработаны технологические методы направленного изменения структуры.
Изготовлена экспериментальная партия диэлектрических кремний-углеродных пленок, содержащих алюминий..
Разработана программа и методики исследовательских испытаний экспери-ментальной партии пленок.
Проведены исследовательске испытания экспериментальной партии пленок.
Подготовлен состав технологической документации.
Развернуть
3
01.07.2006 - 31.10.2006
Разработаны нескольких специализированных процессов (пленка-диэлектрик, пленка-проводник, пленка-антифрикционное покрытие, пленка для защиты поверхности от воздействия окружающей среды, многослойные пленки) с оптимизацией свойств пленки под конкретную задачу. Разработана рабочая технологическая документация (ТД). Разработан проект технических условий (ТУ) на новый класс пленок.Изготовлена опытная партия, металлсодержащих кремний-углеродных многофункциональных пленок. Разработаны программа и методики (ПМ) предварительных испытаний опытной партии пленок. Проведены предварительные испытания. Корректировка ТД и проекта ТУ по результатам предварительных испытаний не потребовалась. Разработана программа и методики (ПМ) приемочных испытаний опытной партии пленок. Проведены приемочные испытания. Корректировка ТД и проекта ТУ по результатам приемочных испытаний не потребовалась.Утверждены ТУ. Изготовлены лабораторные образцы устройств, использующих синтезированные многофункциональные пленки (переменные резисторы и резисторы большой мощности, датчики перемещений, температуры и тензодатчики, конденсаторы большой емкости). Разработана программа и методики (ПМ) исследовательских испытаний лабораторных образцов устройств. Проведены исследовательские испытания.
Разработаны предложения по продолжению ОКР и ОТР в направлении развития тематики настоящего проекта; подготовлены типовые технические задания на ОКР по развитию базы технологического оборудования и ОТР по развитию технологии.
Развернуть

Программа

Программа "Исследования и разработки по приоритетным направлениям развития науки и техники" на 2002-2006 годы

Программное мероприятие

1.3 Прикладные разработки в рамках системы приоритетных направлений
Продолжительность работ
2007 - 2009, 26 мес.
Бюджетные средства
135 млн
Организация
ИПФ РАН
профинансировано
Продолжительность работ
2012 - 2013, 13 мес.
Бюджетные средства
0,39 млн
профинансировано
Тема
Разработка технологии синтеза нового класса металлсодержащих кремний-углеродных многофункциональных пленок для создания приборов нового поколения, обладающих повышенной устойчивостью к воздействию окружающей среды
Продолжительность работ
2005 - 2006, 23 мес.
Бюджетные средства
10 млн
Количество заявок
4
Тема
Разработка и создание нового класса функциональных тонкопленочных материалов с изменяющимся светопоглощением и/или электропроводностью в результате внешних воздействий
Продолжительность работ
2017 - 2019, 26 мес.
Бюджетные средства
72 млн
Количество заявок
13
Тема
Разработка технологий плазмохимического синтеза нано- и поликристаллических алмазных пленок и пластин большой площади.
Продолжительность работ
2007 - 2009, 26 мес.
Бюджетные средства
135 млн
Количество заявок
1
Тема
Создание многослойных и градиентных термически стабильных покрытий в едином технологическом цикле.
Продолжительность работ
2008 - 2009, 11 мес.
Бюджетные средства
13,3 млн
Количество заявок
2
Тема
Разработка и создание экспериментального образца нового поколения системы активной защиты от вибраций измерительных приборов и технологического оборудования для нанотехнологий.
Продолжительность работ
2011 - 2012, 17 мес.
Бюджетные средства
20 млн
Количество заявок
3