"Использование синхротронного и терагерцового излучения для биологических исследований".

В процессе работы были проведены расчеты канала вывода терагерцового излучения. На Новосибирском ЛСЭ спроектирован, изготовлен, собран и запущен канал вывода терагерцового излучения. Сейчас он используется при проведении экспериментов с применением излучения ЛСЭ. По спектральной плотности и средней мощности излучение Новосибирского ЛСЭ на порядки превосходит излучение других перестраиваемых источников.
В процессе работы проведены следующие исследования: 1). расчеты спектральных характеристик поглощаемого в рентгенорезисте СИ с учетом конкретных особенностей экспериментальной станции; 2). исследовались характеристики ПММА, как резиста для изготовления полимерных чипов МФАС; 3). изготовлен тестовый шаблон методом электроискровой резки и проведены тестовые пропечатки в резист; 4). для создания технологии изготовления рентгеновского шаблона отработаны технология нанесения и травления толстых слоев негативного резиста SU-8, технология динамической рентгенолитографии – рисования микропучком СИ структуры шаблона в резисте, методика металлизации создаваемых микроструктур.
Отработаны режимы формирования на подложках толстых слоев ПММА (до 1 мм) способом объемной полимеризации. Исследованы режимы проявления при разных условиях для листового технического ПММА и объемнополимеризованного ПММА, и выбраны оптимальные режимы. Получены кинетические и характеристические кривые для указанных материалов, при облучении СИ в диапазоне энергии 4-40 кэВ. Опробовано репродуцирование структуры МФАС методом рентгенолитограифии с использованием прототипа рентгеношаблона с минимальной шириной канала 50 мкм.