Разработка нового поколения сверхбыстродействующих, сверхчувствительных микро- и нанодатчиков в интегральном исполнении, предназначенных для измерения скорости потока газа и жидкости в аэродинамике, химии, биологии, медицине и для создания устройств управления пограничными течениями

Стадии проекта

Предложение принято

Конкурс завершен

Проект закончен

Проект

02.513.11.3003

Организация

ИТПМ СО РАН

Руководитель работ

Маслов Анатолий Александрович

Продолжительность работ

2007, 7 мес.

Бюджетные средства

2 млн

Внебюджетные средства

0,5 млн

Конкурс

Работы по проведению проблемно-ориентированных поисковых исследований и созданию научно-технического задела в области индустрии наносистем и материалов по критической технологии «Технологии мехатроники и создания микросистемной техники» (мероприятие 1.3 Программы)

Работы должны проводиться в рамках критической технологии «Технологии мехатроники и создания микросистемной техники». Работы должны соответствовать по предполагаемому исполнению лучшим мировым стандартам. Создаваемый научно-технический задел должен обеспечивать в будущем проведение опытно-конструкторских и технологических работ на конкурентном уровне. Результаты работ должны способствовать дальнейшему инновационному развитию российских технологий в данном приоритетном направлении Программы.

Соисполнители

Организация

ИФП СО РАН

Этапы проекта

12.03.2007 - 10.07.2007

1. Разработаны лабораторные технологические маршруты для создания прототипов приборных структур.
2. Изготовлены экспериментальные образцы датчиков с активным элементом – трубкой, вынесенной за край подложки.
3. Разработана и создана электронная система термоанемометра, адаптированная к характеристикам датчика на основе микротрубок.
4. Тестирование макетов датчиков термоанемометров.
5. Составлен и оформлен промежуточный отчет.

11.07.2007 - 31.10.2007

Исследованы однородности нагрева и определены температуры разрушения создаваемых датчиков, временной и пространственной чувствительности созданных термоанемометров;
Проведены аэродинамические эксперименты с целью определения характеристик новых датчиков;
Изготовлены макеты чипов с нанесенными на них распределенными массивами электропроводящих микротрубок
Проведены патентные исследования методов формирования нанотермоанемометров и устройств на их основе.
Сформулированы технические требования для технического задания на выполнение ОКР с использованием полученных результатов.
Составлен и оформлен итогового отчета.