Разработка и исследование технологии создания микромеханических чувствительных элементов изделий микросистемной техники
Стадии проекта
Предложение принято
Конкурс завершен
Проект закончен
Проект
02.513.11.3004
Организация
МИЭТ
Руководитель работ
Тимошенков Сергей Петрович
Продолжительность работ
2007, 7 мес.
Бюджетные средства
2 млн
Внебюджетные средства
0,25 млн
Работы должны проводиться в рамках критической технологии «Технологии мехатроники и создания микросистемной техники». Работы должны соответствовать по предполагаемому исполнению лучшим мировым стандартам. Создаваемый научно-технический задел должен обеспечивать в будущем проведение опытно-конструкторских и технологических работ на конкурентном уровне. Результаты работ должны способствовать дальнейшему инновационному развитию российских технологий в данном приоритетном направлении Программы.
Соисполнители
Организация
АО "ЗИТЦ"
Этапы проекта
1
12.03.2007 - 10.07.2007
Выбрано и обосновано принятое направления исследований и способов решения поставленных задач при разработке и исследовании технологии создания микромеханического чувствительного элемента микрозеркала.
Разработана общая методика проведения исследований.
  Проведено математическое моделирование динамики подвижного элемента микрозеркала и его статического отклонения на фиксированный угол.
Разработаны методики экспериментальных исследований, подготовлены испытательные стенды и установки.
Разработана эскизная технологическая документация.
Изготовлены макеты подвижного элемента микрозеркала, проведены испытания и обработка данных.
Разработана общая методика проведения исследований.
  Проведено математическое моделирование динамики подвижного элемента микрозеркала и его статического отклонения на фиксированный угол.
Разработаны методики экспериментальных исследований, подготовлены испытательные стенды и установки.
Разработана эскизная технологическая документация.
Изготовлены макеты подвижного элемента микрозеркала, проведены испытания и обработка данных.
2
11.07.2007 - 31.10.2007
Сопоставлены результаты эксперимента с результатами расчетов и математического моделирования.
Откорректированы математические модели подвижного элемента микрозеркала по результатам исследований.
Проведены дополнительные исследования технологий получения подвижных элементов микрозеркала.
Обобщены результаты НИР. Проведена оценка полноты решения задач и эффективности полученных результатов в сравнении с современным научно-техническим уровнем.
Дана оценка возможности создания конкурентоспособной продукции и услуг и разработаны рекомендации по использованию результатов проведенных НИР.
Сформулированы технические требования для технического задания на разработку опытных образцов подвижных элементов микрозеркала.
Составлен и оформлен отчет.
Откорректированы математические модели подвижного элемента микрозеркала по результатам исследований.
Проведены дополнительные исследования технологий получения подвижных элементов микрозеркала.
Обобщены результаты НИР. Проведена оценка полноты решения задач и эффективности полученных результатов в сравнении с современным научно-техническим уровнем.
Дана оценка возможности создания конкурентоспособной продукции и услуг и разработаны рекомендации по использованию результатов проведенных НИР.
Сформулированы технические требования для технического задания на разработку опытных образцов подвижных элементов микрозеркала.
Составлен и оформлен отчет.
Программа
Программа "Исследования и разработки по приоритетным направлениям развития научно-технологического комплекса России на 2007-2013 годы"
Программное мероприятие
1.3 Проведение проблемно-ориентированных поисковых исследований и создание научно-технического задела в области индустрии наносистем
профинансировано
профинансировано
Продолжительность работ
2007, 7 мес.
Бюджетные средства
2 млн
Организация
ИРЭ им. Котельникова В.А. РАН
профинансировано
профинансировано
профинансировано