Разработка и исследование технологии создания микромеханических чувствительных элементов изделий микросистемной техники

Выбрано и обосновано принятое направления исследований и способов решения поставленных задач при разработке и исследовании технологии создания микромеханического чувствительного элемента микрозеркала.
Разработана общая методика проведения исследований.
  Проведено математическое моделирование динамики подвижного элемента микрозеркала и его статического отклонения на фиксированный угол.
Разработаны методики экспериментальных исследований, подготовлены испытательные стенды и установки.
Разработана эскизная технологическая документация.
Изготовлены макеты подвижного элемента микрозеркала, проведены испытания и обработка данных.

Сопоставлены результаты эксперимента с результатами расчетов и математического моделирования.
Откорректированы математические модели подвижного элемента микрозеркала по результатам исследований.
Проведены дополнительные исследования технологий получения подвижных элементов микрозеркала.
Обобщены результаты НИР. Проведена оценка полноты решения задач и эффективности полученных результатов в сравнении с современным научно-техническим уровнем.
Дана оценка возможности создания конкурентоспособной продукции и услуг и разработаны рекомендации по использованию результатов проведенных НИР.
Сформулированы технические требования для технического задания на разработку опытных образцов подвижных элементов микрозеркала.
Составлен и оформлен отчет.