Разработка элементов МЭМС на базе интерференционных фильтров высокого разрешения

Проведены исследования по определению математической модели расчета интерференционных фильтров;
Разработана математическая модель трехслойного интерференционного фильтра, проведены расчеты характеристик фильтров от толщины металлических пленок (алюминий, золото) и толщины промежуточного слоя;
Проведен анализ перспективных технологий создания тонкопленочных металлических покрытий и промежуточного диэлектрического слоя. Наиболее подходящей технологией нанесения таких покрытий является использование ионно-плазменных процессов (магнетронное, ионно-лучевое), которые позволяют наносить пленки с нанометровым разрешением, высокой точностью воспроизведения толщины (1-2%).
Из анализа характеристик интерференционных фильтров в соответствии с предложенной моделью и технологии их нанесения выбраны материалы (алюминий, золото) пригодные для создания фильтров Фабри-Перо.
Рассмотрена альтернативная технология нанесения тонких пленок с использованием различных методов (магнетронное + ионно-лучевое в едином цикле), что позволяет в одном процессе формировать тонкие металлические и диэлектрические пленки)

Созданы экспериментальные образцы интерференционных фильтров Фабри-Перо с применением технологии ионно-плазменного напыления тонких плёнок (3 шт.);
Созданы экспериментальные образцы интерференционных фильтров Фабри-Перо с использованием модифицированной технологии (апробация) (2шт.);
Исследованы спектральные характеристики экспериментальных образцов интерференционных фильтров Фабри-Перо;
Изучено влияния различных факторов (электрическое поле, температура) на характеристики образца;
Проведен анализ результатов экспериментов и выработаны рекомендации для создания опытной партии;
Проведены патентные исследования по ГОСТ 15.011-96.
Результаты работы связанные с нанесением диэлектрических пленок были доложены на международной выставке-конгрессе «Мехатроника и робототехника» (МиР-2007) г. Санкт-Петербург, октябрь 2007г