Технология ионно-лучевого синтеза тонких пленок магнитных полупроводников на основе диоксида титана
Стадии проекта
Предложение принято
Конкурс завершен
Проект закончен
Проект
02.513.11.3150
Организация
КФТИ КазНЦ РАН
Руководитель работ
Хайбуллин Ильдус Бариевич
Продолжительность работ
2007, 7 мес.
Бюджетные средства
2 млн
Внебюджетные средства
0,6 млн
Работы должны проводиться в рамках критической технологии «Технологии создания и обработки кристаллических материалов». Работы должны соответствовать по предполагаемому исполнению лучшим мировым стандартам. Создаваемый научно-технический задел должен обеспечивать в будущем проведение опытно-конструкторских и технологических работ на конкурентном уровне. Результаты работ должны способствовать дальнейшему инновационному развитию российских технологий в данном приоритетном направлении Программы.
Соисполнители
Этапы проекта
1
21.03.2007 - 10.07.2007
Проведен анализ научно-технической литературы и проведены патентные исследования по ГОСТ Р 15.011-96.
Проведено компьютерное моделирование процессов имплантации ионов в различные подложки и получены расчетные профили распределения их по глубине.
Проведены эксперименты по имплантации ионов Cu,V, Cr, Mn, Fe, Сo и Ni в монокристаллические подложки TiO2 с различной кристаллографической ориентацией.
Проведено скрайбирование имплантированных подложек и различного вида тепловые воздействия (термический и ионно-импульсный отжиги) на образцы с целью создания различных состояний и распределений магнитных ионов в матрице, а также восстановления ее кристалличности.
Измерены основные магнитные свойства методами магнитного резонанса, термомагнитного анализа для выявления сорта ионов и образцов, показывающих максимальную температуру магнитного упорядочения и остаточную намагниченность; измерена удельная проводимость образцов.
Исследована морфология и элементно-фазовый состав наилучших образцов 3d-примесь/TiO2 методами электронной микроскопии (СЭМ, ПЭМ), зондовой микроскопии (АСМ), рентгеновской дифракции с целью установить основные физические механизмы и технологические параметры, обуславливающие высокие магнитные характеристики полученных материалов.
Проведено компьютерное моделирование процессов имплантации ионов в различные подложки и получены расчетные профили распределения их по глубине.
Проведены эксперименты по имплантации ионов Cu,V, Cr, Mn, Fe, Сo и Ni в монокристаллические подложки TiO2 с различной кристаллографической ориентацией.
Проведено скрайбирование имплантированных подложек и различного вида тепловые воздействия (термический и ионно-импульсный отжиги) на образцы с целью создания различных состояний и распределений магнитных ионов в матрице, а также восстановления ее кристалличности.
Измерены основные магнитные свойства методами магнитного резонанса, термомагнитного анализа для выявления сорта ионов и образцов, показывающих максимальную температуру магнитного упорядочения и остаточную намагниченность; измерена удельная проводимость образцов.
Исследована морфология и элементно-фазовый состав наилучших образцов 3d-примесь/TiO2 методами электронной микроскопии (СЭМ, ПЭМ), зондовой микроскопии (АСМ), рентгеновской дифракции с целью установить основные физические механизмы и технологические параметры, обуславливающие высокие магнитные характеристики полученных материалов.
2
11.07.2007 - 31.10.2007
- Измерены основные магнитные характеристики имплантированных железом образцов методом Мессбауэровской спектроскопии;
- оптимизированы режимы имплантации (тока ионов, дозы, температуры подложки) и последующего отжига для получения максимальных температур Кюри (600К и выше) и остаточных намагниченностей (более 0.7-0.9 намагниченности насыщения), а также анизотропии в плоскости подложки;
- оптимизированы режимы имплантации и последующего отжига для получения уровней удельной проводимости имплантированных образцов, сопоставимых с проводимостью, например, легированного кремния;
- проведены повторные магнитные и электрические измерения с целью выявления наилучших по магнитным и электрическим параметрам образцов;
- разработаны физические модели для интерпретации экспериментально наблюдаемых магнитных, оптических и электрических свойств синтезированных нанокомпозитных систем и субмикронных слоев;
- разработаны рекомендации по созданию ионно-лучевой технологии формирования магнитнных оксидных полупроводников на основе диоксида титана с температурой Кюри, выше комнатной;
- составлен и оформлен отчёт.
- оптимизированы режимы имплантации (тока ионов, дозы, температуры подложки) и последующего отжига для получения максимальных температур Кюри (600К и выше) и остаточных намагниченностей (более 0.7-0.9 намагниченности насыщения), а также анизотропии в плоскости подложки;
- оптимизированы режимы имплантации и последующего отжига для получения уровней удельной проводимости имплантированных образцов, сопоставимых с проводимостью, например, легированного кремния;
- проведены повторные магнитные и электрические измерения с целью выявления наилучших по магнитным и электрическим параметрам образцов;
- разработаны физические модели для интерпретации экспериментально наблюдаемых магнитных, оптических и электрических свойств синтезированных нанокомпозитных систем и субмикронных слоев;
- разработаны рекомендации по созданию ионно-лучевой технологии формирования магнитнных оксидных полупроводников на основе диоксида титана с температурой Кюри, выше комнатной;
- составлен и оформлен отчёт.
Программа
Программа "Исследования и разработки по приоритетным направлениям развития научно-технологического комплекса России на 2007-2013 годы"
Программное мероприятие
1.3 Проведение проблемно-ориентированных поисковых исследований и создание научно-технического задела в области индустрии наносистем
профинансировано
профинансировано
Продолжительность работ
2007, 7 мес.
Бюджетные средства
2 млн
профинансировано
профинансировано
профинансировано