Разработка конструкций и методов проектирования многоосевых микро- и наномеханических компонентов навигационных систем, изготавливаемых по LIGA-технологии с применением синхротронного излучения
Стадии проекта
Предложение принято
Конкурс завершен
Проект закончен
Проект
02.513.11.3225
Организация
Южный федеральный университет
Руководитель работ
Панич Анатолий Евгеньевич
Продолжительность работ
2007 - 2008, 17 мес.
Бюджетные средства
8 млн
Внебюджетные средства
3 млн
Создание интегрированных нано- и микроэлектромеханических и оптоэлектромеханических устройств и систем прецизионного технологического и приборно-аналитического оборудования, обладающих эксплуатационными характеристиками, необходимыми для обеспечения функционирования высокоэффективных, конкурентоспособных технических средств нового поколения.
Соисполнители
Организация
НИЦ "Курчатовский институт"
Этапы проекта
1
17.05.2007 - 07.12.2007
Разработаны конструкции многоосевых микро/наномеханических сенсоров угловых скоростей и линейных ускорений.
Разработаны модели и методы моделирования трехосевых микромеханических компонентов.
Разработана технология получения электрострикционной и пьезоэлектрической керамики.
Отработан технологический процесс изготовления лабораторных образцов микромеханических компонентов с применением синхротронного излучения.
Разработана эскизная конструкторская документация лабораторного образца.
Составлен отчет о патентных исследованиях.
Составлен промежуточный отчет.
Разработаны модели и методы моделирования трехосевых микромеханических компонентов.
Разработана технология получения электрострикционной и пьезоэлектрической керамики.
Отработан технологический процесс изготовления лабораторных образцов микромеханических компонентов с применением синхротронного излучения.
Разработана эскизная конструкторская документация лабораторного образца.
Составлен отчет о патентных исследованиях.
Составлен промежуточный отчет.
2
01.01.2008 - 31.05.2008
Проведены дополнительные патентные исследования;
  Разработаны методы и средства проектирования микро- и наномеханических сенсоров;
  Изготовлены лабораторные образцы микромеханических компонентов по LIGA-технологии;
  Разработаны методики испытаний лабораторных образцов микромеханических компонентов;
  Разработаны методы и средства проектирования микро- и наномеханических сенсоров;
  Изготовлены лабораторные образцы микромеханических компонентов по LIGA-технологии;
  Разработаны методики испытаний лабораторных образцов микромеханических компонентов;
3
01.06.2008 - 31.10.2008
Проведены дополнительные патентные исследования,
  Проведены испытания лабораторных образцов;
  Разработаны предложения по применению пьезокерамических материалов в микро наномеханических сенсорах и актюаторах, предназначенных для работы в широком диапазоне температур;
  Разработаны рекомендации по проектированию инерциальных навигационных систем на основе трехосевых микромеханических компонентов; обобщены результаты работы.
  Проведены испытания лабораторных образцов;
  Разработаны предложения по применению пьезокерамических материалов в микро наномеханических сенсорах и актюаторах, предназначенных для работы в широком диапазоне температур;
  Разработаны рекомендации по проектированию инерциальных навигационных систем на основе трехосевых микромеханических компонентов; обобщены результаты работы.
Программа
Программа "Исследования и разработки по приоритетным направлениям развития научно-технологического комплекса России на 2007-2013 годы"
Программное мероприятие
1.3 Проведение проблемно-ориентированных поисковых исследований и создание научно-технического задела в области индустрии наносистем
профинансировано
Продолжительность работ
2007 - 2008, 17 мес.
Бюджетные средства
7,8 млн
Организация
АО "НИФХИ им. Л.Я. Карпова"
профинансировано
профинансировано
Продолжительность работ
2014 - 2016, 30 мес.
Бюджетные средства
25 млн
Организация
Южный федеральный университет
профинансировано
профинансировано