Разработка конструкций и методов проектирования многоосевых микро- и наномеханических компонентов навигационных систем, изготавливаемых по LIGA-технологии с применением синхротронного излучения

Стадии проекта

Предложение принято

Конкурс завершен

Проект закончен

Проект

02.513.11.3225

Организация

Южный федеральный университет

Руководитель работ

Панич Анатолий Евгеньевич

Продолжительность работ

2007 - 2008, 17 мес.

Бюджетные средства

8 млн

Внебюджетные средства

3 млн

Конкурс

Разработка интегрированных нано- и микроэлектромеханических и оптоэлектромеханических устройств для прецизионного технологического и приборно-аналитического оборудования различного назначения.

Создание интегрированных нано- и микроэлектромеханических и оптоэлектромеханических устройств и систем прецизионного технологического и приборно-аналитического оборудования, обладающих эксплуатационными характеристиками, необходимыми для обеспечения функционирования высокоэффективных, конкурентоспособных технических средств нового поколения.

Соисполнители

Организация

НИЦ "Курчатовский институт"

Этапы проекта

17.05.2007 - 07.12.2007

Разработаны конструкции многоосевых микро/наномеханических сенсоров угловых скоростей и линейных ускорений.
Разработаны модели и методы моделирования трехосевых микромеханических компонентов.
Разработана технология получения электрострикционной и пьезоэлектрической керамики.
Отработан технологический процесс изготовления лабораторных образцов микромеханических компонентов с применением синхротронного излучения.
Разработана эскизная конструкторская документация лабораторного образца.
Составлен отчет о патентных исследованиях.
Составлен промежуточный отчет.

01.01.2008 - 31.05.2008

Проведены дополнительные патентные исследования;
  Разработаны методы и средства проектирования микро- и наномеханических сенсоров;
  Изготовлены лабораторные образцы микромеханических компонентов по LIGA-технологии;
  Разработаны методики испытаний лабораторных образцов микромеханических компонентов;

01.06.2008 - 31.10.2008

Проведены дополнительные патентные исследования,
  Проведены испытания лабораторных образцов;
  Разработаны предложения по применению пьезокерамических материалов в микро наномеханических сенсорах и актюаторах, предназначенных для работы в широком диапазоне температур;
  Разработаны рекомендации по проектированию инерциальных навигационных систем на основе трехосевых микромеханических компонентов; обобщены результаты работы.