Разработка фундаментальных основ и технологических принципов получения сверхтвердых износостойких наноструктурных покрытий с высокой термической стабильностью, стойкостью к высокотемпературному окислению и воздействию агрессивных сред

Выполнен анализ научно-технической литературы, нормативно-технической документации и других материалов, относящихся к теме.
Проведены патентные исследования по ГОСТ 15.011-96.
Разработаны и синтезированы методом СВС новые композиционные мишени-катоды TiBN, TiCrB, TiSiB и TiAlSiB.
Выполнены эксперименты по осаждению покрытий Ti-(Al,Cr,Si)-(B,N) методом магнетронного распыления композиционных мишеней.
Проведены серии экспериментов по отжигу покрытий в вакууме при температурах 600, 800 и 1000оС, а также на воздухе при температурах 600, 700, 800 и 900оС. Исследованы структура и свойства мишеней и покрытий.

Разработаны и синтезированы методом СВС новые композиционные мишени-катоды TiCrB c 20, 30 и 40% Cr. Выполнены эксперименты по осаждению покрытий Ti-Cr-B-N методом магнетронного распыления композиционных мишеней. Выполнены эксперименты по осаждению наноструктурных и многослойных покрытий TiCrBN/WSex с низким коэффициентом трения. Проведены структурные исследования. Исследованы механические и трибологические свойства. Исследованы электрохимические свойства покрытий. Разработано ТЗ на ОКР. Составлен итоговый отчёт.