Регистрация / Вход
Прислать материал

Создание элементов микроэлектромеханических матричных акселерометров на базе наноразмерных функциональных слоев

Стадии проекта
Предложение принято
Конкурс завершен
Проект закончен
Проект
02.513.11.3427
Руководитель работ
Шаманаев Сергей Владимирович
Продолжительность работ
2008, 1 мес.
Бюджетные средства
2,2 млн
Внебюджетные средства
0 млн

Разработка технологии создания микроэлектромеханических акселерометров на базе наноразмерных функциональных слоев, изготавливаемых методами поверхностной микрообработки.

Участники проекта

Зам. руководителя работ
Годовицын Игорь Валерьевич

Этапы проекта

1
14.10.2008 - 15.11.2008
В рамках НИР проведена разработка технологии создания микроэлектромеханических акселерометров на базе наноразмерных функциональных слоев, изготавливаемых методами поверхностной микрообработки. НИР выполнена на высоком научно-техническом уровне с применением современных аналитических и экспериментальных методик, средств расчета и моделирования, технологического и измерительного оборудования. Результаты НИР имеют высокое научное и практическое значение и могут быть использованы в смежных областях микромеханики: микроэлектронные технологии, микросенсорика, разработка химических чипов на кремнии.
Развернуть

Программа

Программа "Исследования и разработки по приоритетным направлениям развития научно-технологического комплекса России на 2007-2013 годы"

Программное мероприятие

1.3 Проведение проблемно-ориентированных поисковых исследований и создание научно-технического задела в области индустрии наносистем
Продолжительность работ
2007 - 2008, 17 мес.
Бюджетные средства
7,8 млн
профинансировано
Тема
Создание элементов микроэлектромеханических матричных акселерометров на базе наноразмерных функциональных слоев.
Продолжительность работ
2008, 2 мес.
Бюджетные средства
2,5 млн
Количество заявок
4
Тема
Создание элементов микроэлектромеханических фотонных переключателей с интегрированными функциональными наноструктурами и наноматериалами для информационно-телекоммуникационных систем.
Продолжительность работ
2008, 2 мес.
Бюджетные средства
2,5 млн
Количество заявок
3
Тема
Разработка методов формирования сегнетоэлектрических пленок для сверхминиатюрных элементов микроэлектромеханических систем и сенсорики.
Продолжительность работ
2008, 2 мес.
Бюджетные средства
2,5 млн
Количество заявок
3
Тема
Разработка базовых конструкций и технологий изготовления радиочастотных микроэлектромеханических переключателей с подвижными элементами на основе алмазных и алмазоподобных пленок.
Продолжительность работ
2012 - 2013, 17 мес.
Бюджетные средства
200 млн
Количество заявок
2
Тема
Разработка имплантируемых в организм человека микроэлектромеханических систем
Продолжительность работ
2014 - 2016, 27 мес.
Бюджетные средства
258 млн
Количество заявок
6