Прислать материал
Создание элементов микроэлектромеханических матричных акселерометров на базе наноразмерных функциональных слоев
Стадии проекта
Предложение принято
Конкурс завершен
Проект закончен
Проект
02.513.11.3427
Организация
ООО "НПП "Технология"
Руководитель работ
Шаманаев Сергей Владимирович
Продолжительность работ
2008, 1 мес.
Бюджетные средства
2,2 млн
Внебюджетные средства
0 млн
Конкурс
Создание элементов микроэлектромеханических матричных акселерометров на базе наноразмерных функциональных слоев.
Разработка технологии создания микроэлектромеханических акселерометров на базе наноразмерных функциональных слоев, изготавливаемых методами поверхностной микрообработки.
Участники проекта
Зам. руководителя работ
Годовицын Игорь Валерьевич
Этапы проекта
1
14.10.2008 - 15.11.2008
В рамках НИР проведена разработка технологии создания микроэлектромеханических акселерометров на базе наноразмерных функциональных слоев, изготавливаемых методами поверхностной микрообработки. НИР выполнена на высоком научно-техническом уровне с применением современных аналитических и экспериментальных методик, средств расчета и моделирования, технологического и измерительного оборудования. Результаты НИР имеют высокое научное и практическое значение и могут быть использованы в смежных областях микромеханики: микроэлектронные технологии, микросенсорика, разработка химических чипов на кремнии.
Программа
Программа "Исследования и разработки по приоритетным направлениям развития научно-технологического комплекса России на 2007-2013 годы"
Программное мероприятие
1.3 Проведение проблемно-ориентированных поисковых исследований и создание научно-технического задела в области индустрии наносистем
Разработка методов проектирования и создания перспективных многоосевых интегральных микро- и наномеханических гироскопов и акселерометров с использованием плазменных и лазерных технологий поверхностной микрообработки для микрооптоэлектромеханических систем
Продолжительность работ
2014 - 2016, 30 мес.
Бюджетные средства
25 млн
Организация
Южный федеральный университет
профинансировано
Разработка методов проектирования многокомпонентных интегрированных микроэлектромеханических гироскопов и акселерометров, устойчивых к дестабилизирующим воздействиям
Продолжительность работ
2014 - 2016, 28 мес.
Бюджетные средства
15,82 млн
Организация
ФГАОУ ВО НИ ТПУ
профинансировано
Интеллектуальный инерциальный модуль на основе микроэлектромеханических датчиков с функциями гироскопа, акселерометра и магнитометра для систем ориентации и навигации транспортных средств с автоматизированным управлением
профинансировано
Продолжительность работ
2008, 1 мес.
Бюджетные средства
2,14 млн
Организация
ООО "НаноИмпринт"
профинансировано
Продолжительность работ
2007 - 2008, 17 мес.
Бюджетные средства
7,8 млн
Организация
АО "НИФХИ им. Л.Я. Карпова"
профинансировано