Разработка методов лазерной обработки анизотропных кристаллических материалов для изготовления элементов сложной геометрической формы

В ходе выполнении работы проведена оценка влияния лазерной резки на физических свойства анизотропных кристаллических материалов. На ос-новании проведенных исследований разработана эскизная технология изго-товления кристаллических элементов для акустоэлектронных устройств. По разработанной технологии проведено изготовление 50 штук эксперименталь-ных образцов. В ходе проведенных испытаний подтверждены требования технического задания на НИР по обеспечению точности изготовления кри-сталлических элементов, в том числе: толщина обрабатываемого образца не менее 700 мкм; точность обрабатываемых образцов в направлении, перпен-дикулярном резу в пределах 5 - 50 мкм; отклонение от соосности изготавли-ваемых отверстий, не более ±25 мкм.
2.2 Новизна научных, конструкторских или технологических решений в сравнении с другими работами, родственными по тематике и целевому на-значению и определяющими мировой уровень.
Авторы не имеют информации о применении технологии лазерной рез-ки при изготовлении пьезоэлектрических устройств. С высокой долей веро-ятности можно утверждать, что изготовленные образцы элементов из лантан-галлиевого силиката подобной технологией изготовлены впервые в мире.
2.3 Особенности исследования, разработки, метода или методологии проведения работы на отчетном этапе.
Использование нелинейных эффектов поглощения лазерного излуче-ние позволило применить лазер значительно более простой по конструкции и более низкой стоимостью по сравнению с традиционными методами исполь-зующими линейное поглощение излучения УФ диапазона.