Выполнение работ по развитию центра коллективного пользования "Микросистемная техника и электронная компонентная база"(ЦКП "МСТ и ЭКБ") научным оборудованием (мероприятие Программы 5.2)

• Доработанная концепция Центра коллективного пользования «Микросистемная техника и электронная компонентная база», предусматривающая построение и реализацию замкнутого технологического маршрута для предоставления услуг в области проектирования и изготовления современной отечественной электронной компонентной базы (ЭКБ) и изделий микросистемной техники с технологическими нормами до 0,35 мкм на основе развития соответствующих инфраструктурных компонентов и технологического дооснащения ЦКП.
• Оптимизированный процесс формирования светочувствительного слоя на фотошаблонной заготовке с низкоотражающим маскирующим покрытием.
• Оптимизированный процесс подготовки поверхности заготовки фотошаблона перед нанесением фоторезиста.
• Базовая методика подготовки исходных структур используемых при изготовлении подвижных микромеханических элементов.
• Договора (контракты) на закупку технических и контрольно-измерительных средств ЦКП.

• Доработанная концепция Центра коллективного пользования «Микросистемная техника и электронная компонентная база», предусматривающая построение и реализацию замкнутого технологического маршрута для предоставления услуг в области проектирования и изготовления современной отечественной электронной компонентной базы (ЭКБ) и изделий микросистемной техники с технологическими нормами до 0,35 мкм на основе развития соответствующих инфраструктурных компонентов и технологического дооснащения ЦКП.
• Оптимизированный процесс формирования светочувствительного слоя на фотошаблонной заготовке с низкоотражающим маскирующим покрытием.
• Оптимизированный процесс подготовки поверхности заготовки фотошаблона перед нанесением фоторезиста.
• Базовая методика подготовки исходных структур используемых при изготовлении подвижных микромеханических элементов.
• Договора (контракты) на закупку технических и контрольно-измерительных средств ЦКП.

В рамках выполнения третьего этапа были выполнены следующие работы:
? Проведена оптимизация маршрута изготовления фотошаблонов.
? Разработана базовая методика изготовления подвижных микромеханических элементов (датчиков давления, акселерометров, датчиков температуры).
? Заключены договора на закупку технических и контрольно-измерительных средств ЦКП.
? Проведено исследование образцов фотошаблонов по оптимизированной методике:
• Разработана тестовая структура и методика аттестации фотошаблонов с проектными нормами 0,35 мкм по параметру «Воспроизведение размеров элементов топологии».
• Проведено исследование воспроизводимости размеров элементов топологического рисунка по рабочему полю фотошаблона.
• Проведены анализ и контроль соответствия топологии рисунка фотошаблонов на соответствие проектным данным.
? Проведено исследование параметров проектируемых чувствительных элементов (датчиков давления, акселерометров, датчиков температуры).