Прислать материал
Развитие центра коллективного пользования научным оборудованием для обеспечения комплексных исследований в области диагностики микро- и наноструктур электроники, наноматериалов, биоорганических нанообъектов и технологий их получения
Проведение комплексных исследований в области диагностики микро- и наноструктур электроники и биоорганических нанообъектов с целью разработки технологии их получения.
Научно-методическое и приборное обеспечение научно-исследовательских, опытно-конструкторских и технологических работ, проводимых организациями Российской Федерации, с предоставлением возможности использования методов научных исследований, разработанных или освоенных центром коллективного пользования научным оборудованием (ЦКП).
Развитие материально-технической базы ЦКП путем дооснащения имеющихся специализированных комплексов или групп (лабораторий) приобретаемым научным оборудованием и развития новых методов выполнения измерений для обеспечения и развития исследований в форме коллективного пользования и содействия развитию сети ЦКП.
Соисполнители
Участники проекта
Этапы проекта
• методы диагностики микро- и наноструктур, отвечающие современным требованиям технологии микро- и наноэлектроники;
• теоретические и экспериментальные основы наноструктурирования по-верхности ионным распылением;
• теоретические основы менеджмента центров коллективного пользова-ния научным оборудованием как субъектов инновационной деятельно-сти на основе аутсорсинга НИОКР.
Разработаны методики:
• физико-химического анализа микрочастиц с размерами менее 0,1 мкм,
• трехмерного анализа распределения элементов в структурах микро- и наноэлектроники и высокомолекулярных комплексов в биоматериалах методом вторичной ионной масс-спектрометрии.
Разработаны методы математического моделирования эрозии наноструктурированной поверхности и визуализации ионного распыления при ВИМС-анализе.
Произведена установка и пуско-наладка времяпролетного масс-спектрометра IONTOF SIMS 5
Выполнены монтаж и пуско-наладка сканирующих мультимикроскопов СММ-2000.
Организован учебно-научный класс мультимикроскопов для вузов г. Ярославля, осуществляющих подготовку и повышение квалификации специалистов в области нанотехнологий.
Заключен контракт на поставку комплектующих и расходных материалов для ВИМС Cameca IMS-4F.