Развитие центра коллективного пользования научным оборудованием для обеспечения комплексных исследований в области диагностики микро- и наноструктур электроники, наноматериалов, биоорганических нанообъектов и технологий их получения

Стадии проекта

Предложение принято

Конкурс завершен

Проект закончен

Проект

02.552.11.7028

Организация

ЯрГУ, Ярославский государственный университет им. П.Г. Демидова

Руководитель работ

Орликовский Александр Александрович

Продолжительность работ

2008 - 2009, 9 мес.

Бюджетные средства

71,43 млн

Внебюджетные средства

15 млн

Конкурс

Развитие центра коллективного пользования научным оборудованием для обеспечения комплексных исследований в области диагностики микро- и наноструктур электроники, наноматериалов, биоорганических нанообъектов и технологий их получения.

Проведение комплексных исследований в области диагностики микро- и наноструктур электроники и биоорганических нанообъектов с целью разработки технологии их получения.
Научно-методическое и приборное обеспечение научно-исследовательских, опытно-конструкторских и технологических работ, проводимых организациями Российской Федерации, с предоставлением возможности использования методов научных исследований, разработанных или освоенных центром коллективного пользования научным оборудованием (ЦКП).
Развитие материально-технической базы ЦКП путем дооснащения имеющихся специализированных комплексов или групп (лабораторий) приобретаемым научным оборудованием и развития новых методов выполнения измерений для обеспечения и развития исследований в форме коллективного пользования и содействия развитию сети ЦКП.

Соисполнители

Организация

ФТИАН им. К.А.Валиева РАН

Участники проекта

Зам. руководителя работ

Рудый Александр Степанович

Этапы проекта

19.06.2008 - 31.10.2008

В ходе выполнения 1 этапа НИР разработаны:
• методы диагностики микро- и наноструктур, отвечающие современным требованиям технологии микро- и наноэлектроники;
• теоретические и экспериментальные основы наноструктурирования по-верхности ионным распылением;
• теоретические основы менеджмента центров коллективного пользова-ния научным оборудованием как субъектов инновационной деятельно-сти на основе аутсорсинга НИОКР.

01.11.2008 - 31.12.2008

Выполнен монтаж комплекса диагностики микро- и нано- структур на базе сканирующего электронного микроскопа. Произведена пуско-наладка СЭМ высокого разрешения с комплексом диагностики микро- и наноструктур.
Разработаны методики:
• физико-химического анализа микрочастиц с размерами менее 0,1 мкм,
• трехмерного анализа распределения элементов в структурах микро- и наноэлектроники и высокомолекулярных комплексов в биоматериалах методом вторичной ионной масс-спектрометрии.
Разработаны методы математического моделирования эрозии наноструктурированной поверхности и визуализации ионного распыления при ВИМС-анализе.
Произведена установка и пуско-наладка времяпролетного масс-спектрометра IONTOF SIMS 5
Выполнены монтаж и пуско-наладка сканирующих мультимикроскопов СММ-2000.
Организован учебно-научный класс мультимикроскопов для вузов г. Ярославля, осуществляющих подготовку и повышение квалификации специалистов в области нанотехнологий.
Заключен контракт на поставку комплектующих и расходных материалов для ВИМС Cameca IMS-4F.

01.01.2009 - 31.03.2009

Разработаны методики: послойного анализа функциональных элементов интегральных микросхем, в том числе для технологии 65 нм; исследования биоорганических нанообъектов при помощи ВИМС ONTOF SIMS 5; методики исследования и диагностики структурных элементов интегральных микросхем методом ВИМС, а также зондовыми и оптическими методами; методики количественного микроанализа для геологии и экологии. Разработаны технологии формирования высокоаспектного нанорельефа на поверхности твердых тел. Произведена пуско-наладка профилометров модели 130.Выполнена модернизация ВИМС CAMECA IMS-4F.