Обеспечение центром коллективного пользования научным оборудованием комплексных исследований в области ядерных технологий и функциональных наноматериалов
Проведение комплексных исследований в области ядерных технологий и функциональных наноматериалов.
Научно-методическое и приборное обеспечение научно-исследовательских, опытно-конструкторских и технологических работ, проводимых организациями Российской Федерации, с предоставлением возможности использования методов научных исследований, разработанных или освоенных центром коллективного пользования научным оборудованием (ЦКП).
Развитие материально-технической базы ЦКП путем дооснащения имеющихся специализированных комплексов или групп (лабораторий) приобретаемым научным оборудованием и развития новых методов выполнения измерений для обеспечения и развития исследований в форме коллективного пользования и содействия развитию сети ЦКП.
Участники проекта
Этапы проекта
- проведены синтез и исследование новых материалов с высоким коэффициентом диэлектрической проницаемости на основе сверхтонких (~3-5 нм) слоев оксидов металлов для использования в качестве подзатворного диэлектрика в КМОП-технологии изготовления логических устройств нового поколения;
- разработана методика анализа структуры и состава катодной и анодной фольги с наноструктурированной поверхностью для электролитических конденсаторов нового поколения.
• разработана методика исследования явления многоэлектронных возбуждений и плотности электронных состояний в нанокластерах металлов методами рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии;
• разработана методика исследования плотности электронных состояний в нанокластерах d-металлов (Au) методом сканирующей туннельной микроскопии и спектроскопии;
• с использованием разработанных методик проведено исследование эволюции плотности электронных состояний в нанокластерах Au, Cu, Co, Ni, Cr на поверхности высокоориентированного пиролитического графита при уменьшении их размера;
Разработана методика исследования методом РФЭС кинетики окисления нанокластеров Ni и влияния размера кластера на его магнитные характеристики.
Разработана методика анализа интегральных структур КМОП СБИС для технологий с проектными нормами 0.25 – 0.13 мкм.