Создание технологии проведения наноповерхностной низкотемпературной термодиффузии для адаптивного управления корреляционными и автокорреляционными параметрами надежности межсоединений базовых электронных компонентов микро- и наноэлектронной аппаратуры космического применения

1.1 Анализ научно-технической литературы, нормативно-технической документации и других материалов, по теме проекта.
1.2 Выбор и обоснование принятого направления исследований и способов решения поставленных задач.
1.3 Сопоставление ожидаемых показателей новой продукции после внедрения результатов НИР с существующими показателями изделий-аналогов или с действующей нормативно-технической документацией.
1.4 Проведение патентного поиска.
1.5 Создание математической модели прогнозирования надежностных параметров межсоединений базовых электронных компонентов микро- и наноэлектронной аппаратуры по корреляционным и автокорреляционным функциям при проведении наноповерхностной низкотемпературной термодиффузии.
1.6 Сбор статистических данных по результатам прогнозирования надежностных параметров межсоединений базовых электронных компонентов.
1.7 Математическая обработка статистических данных по результатам прогнозирования надежностных параметров межсоединений базовых электронных компонентов.

2.1 Определение областей совместного существования корреляционных и автокорреляционных функций при математическом моделировании надежностных параметров.
2.2 Моделирование и исследованное законов распределения времени отказов и начальных значений взаимосвязанных многомерных параметров межслойных переходов многослойных структур.
2.3 Адекватность и достоверность математических моделей надежностных характеристик межсоединений по начальным значениям конструктивно-технологических параметров с корреляционными и автокорреляционными функциями.
2.4 Определение коэффициентов влияния многомерных коррелированных конструктивно - технологических параметров межсоединений на надежностные характеристики с целью выявление значимости этих параметров и упрощения математических моделей.
2.5 Выявление влияния нелинейного распределения значений параметров межсоединений по поверхности базовых элементов на надежностные характеристики.
2.6 Математическое моделирование корреляционных и автокорреляционных функций значений многомерных параметров межсоединений базовых электронных компонентов.

3.1 Разработка основ управления прочностными параметрами межсоединений при проведении наноповерхностной низкотемпературной термодиффузии.
3.2 Сбор статистических экспериментальных данных по режимам технологического процесса проведения наноповерхностной низкотемпературной термодиффузии.
3.3 Математическое моделирование управления взаимозависимыми автокорреляционными параметрами межсоединений при проведении наноповерхностной низкотемпературной термодиффузии.
3.5 Разработка функциональной схемы прибора для управления взаимозависимыми автокорреляционными параметрами надежности межсоединений микроэлектронной аппаратуры при проведении наноповерхностной низкотемпературной термодиффузии.
3.6 Создание экспериментального образца макета прибора для управления взаимозависимыми автокорреляционными параметрами надежности межсоединений микроэлектронной аппаратуры при проведении наноповерхностной низкотемпературной термодиффузии.
3.7 Проведение экспериментов по выявлению статистических данных оценки режимов технологического процесса проведения наноповерхностной низкотемпературной термодиффузии макета прибора.

4.1 Построение статистических динамических моделей режимов наноповерхностной низкотемпературной термодиффузии при нормальном законе распределения значений отклонений начальной адгезии металлизированных нанослоев.
4.2 Динамическое моделирование режимов наноповерхностной низкотемпературной термодиффузии при нормальном законе распределения значений отклонений внутренних напряжений в металлизированных нанослоях.
4.3 Выявление режимов циклового температурного воздействия при проведении наноповерхностной низкотемпературной термодиффузии по нанослоям.
4.4 Выявление диапазона температурного воздействия при термодиффузии с оценкой возможного разрушения межсоединений при превышении допустимых прочностных параметров межсоединений.
4.5 Оптимизация дозирования циклового температурного воздействия при проведении наноповерхностной низкотемпературной термодиффузии.
4.6 Повышение точности циклового температурного воздействия при длительной выдержке в технологических условиях получения металлических нанослоев и при проведении наноповерхностной низкотемпературной термодиффузии по нанослоям.
4.7 Оценка точности начального температурного воздействия при проведении термодиффузии с выявлением возможного разрушения межсоединений при превышении допустимых прочностных параметров.

5.1 Разработка функциональной схемы автоматизированной системы технологической подготовки производства при использовании технологического процесса управления корреляционными и автокорреляционными параметрами надежности межсоединений микро- и наноэлектронной аппаратуры космического применения при проведении наноповерхностной низкотемпературной термодиффузии.
5.2 Решение обратной задачи моделирования корреляционных и автокорреляционных параметров надежности межсоединений базовых электронных компонентов.
5.3 Перераспределение допустимых отклонений корреляционных и автокорреляционных параметров межсоединений базовых электронных компонентов.
5.4 Разработка плана контроля многомерных взаимозависимых параметров межсоединений микро- и наноэлектронной аппаратуры космического применения при проведении наноповерхностной низкотемпературной термодиффузии.
5.5 Оценка допустимых областей изменения значений многомерных корреляционных и автокорреляционных параметров межсоединений базовых элементов.

6.1. Обобщение результатов исследований по НИР. Оценка полноты решения задач и эффективности полученных результатов в сравнении с современным научно-техническим уровнем.
6.2. Проведение моделирования точности измерений адаптивным многозондовым электропотенциальным и вихретоковым бесконтактным методами.
6.3. Оценка возможности создания конкурентоспособной продукции и услуг и разработка Программы по внедрению результатов НИР, включая предложения по коммерциализации.
6.4.Разработка программы внедрения результатов НИР в образовательный процесс.
  6.5 Математическое моделирование интегрального контроля межсоединений для управления многомерными корреляционными и автокорреляционными надежностными параметрами.
6.6 Выявление методов и способов автоматизации измерений и оценки начальных значений параметров межсоединений для организации управления надежностью.
6.7 Разработка экспериментального образца макета интеллектуального блока контроля и оценки начальных значений параметров межсоединений для организации управления надежностью.