Создание метрологического комплекса нормативно-методической базы для измерений параметров рельефа и шероховатости поверхностей в нанометровом диапазоне.

Разработана концепция 3д измерений параметров шероховатости и рельефа.
Приобретены комплектующие для создания калибровочной установки на базе прецизионной микроскопии.
Проведена модернизация механической, оптической и программно-аппаратной компонент метрологического комплекса на базе прецизионной интерферометрии и интерференционной микроскопии.
Разработаны калибровочные установки для измерений рельефа и шероховатости поверхности на базе прецизионной интерферометрии и интерференционной микроскопии.
Создан комплекс мер шероховатости и рельефа для контактных профилометров и прецизионных интерферометров.
Разработаны методические рекомендации в области интерферометрии, гармонизированных с международными стандартами iso.

Разработана методология 3д метрии рельефа поверхностей.
Приобретены комплектующие для создания калибровочной установки на базе прецизионной интерферометрии.
Проведена модернизация оптико-электронной и программно-алгоритмической компонент метрологического комплекса на базе:
а) контактной профилометрии;
б) сканирующей зондовой микроскопии;
в) электронной компоненты прецизионной интерферометрии.
Разработаны проекты рабочих документов участия Российской Федерации в работе международного технического комитета ISO TC 213 по нормированию требований к характеристикам средств измерений, их калибровке с целью гармонизации Российской и международной нормативной базы в области измерений рельефа и шероховатости поверхностей в нанометровом диапазоне.
Организовано участие в сличенияx калибровочных метрологических комплексов в области измерений рельефа и шероховатости поверхностей в нанометровом диапазоне в рамках международной метрологической организации КООМЕТ с целью декларирования измерительных и калибровочных возможностей Российской Федерации.

Проведена модернизация компонент метрологического комплекса на базе:
а) сканирующей зондовой микроскопии в части измерений перемещений;
б) интерференционной микроскопии в части единого алгоритмического и программного обеспечения;
в) прецизионной интерферометрии в части электронной фазометрии;
г) контактной профилометрии в части модернизации механических компонент.
Создан комплекс мер геометрических параметров для сканирующей зондовой микроскопии и интерференционной микроскопии.
Разработаны проекты рабочих документов участия Российской Федерации в работе международного технического комитета ISO TC 213 по нормированию требований к характеристикам средств измерений, их калибровке с целью гармонизации Российской и международной нормативной базы в области измерений рельефа и шероховатости поверхностей в нанометровом диапазоне.
Организовано участие в сличенuяx Калибровочных метрологических комплексов в области измерений рельефа и шероховатости поверхностей в нанометровом диапазоне в рамках международной метрологической организации КООМЕТ с целью декларирования измерительных и калибровочных возможностей Российской Федерации.