Регистрация / Вход
Прислать материал

Создание метрологического комплекса нормативно-методической базы для измерений параметров рельефа и шероховатости поверхностей в нанометровом диапазоне.

Стадии проекта
Предложение принято
Конкурс завершен
Проект закончен
Проект
154-6/298
Организация
ФГУП "ВНИИМС"

Информация отсутствует

Этапы проекта

1
11.09.2008 - 31.12.2008
Разработана концепция 3д измерений параметров шероховатости и рельефа.
Приобретены комплектующие для создания калибровочной установки на базе прецизионной микроскопии.
Проведена модернизация механической, оптической и программно-аппаратной компонент метрологического комплекса на базе прецизионной интерферометрии и интерференционной микроскопии.
Разработаны калибровочные установки для измерений рельефа и шероховатости поверхности на базе прецизионной интерферометрии и интерференционной микроскопии.
Создан комплекс мер шероховатости и рельефа для контактных профилометров и прецизионных интерферометров.
Разработаны методические рекомендации в области интерферометрии, гармонизированных с международными стандартами iso.
Развернуть
2
01.01.2009 - 30.06.2009
Разработана методология 3д метрии рельефа поверхностей.
Приобретены комплектующие для создания калибровочной установки на базе прецизионной интерферометрии.
Проведена модернизация оптико-электронной и программно-алгоритмической компонент метрологического комплекса на базе:
а) контактной профилометрии;
б) сканирующей зондовой микроскопии;
в) электронной компоненты прецизионной интерферометрии.
Разработаны проекты рабочих документов участия Российской Федерации в работе международного технического комитета ISO TC 213 по нормированию требований к характеристикам средств измерений, их калибровке с целью гармонизации Российской и международной нормативной базы в области измерений рельефа и шероховатости поверхностей в нанометровом диапазоне.
Организовано участие в сличенияx калибровочных метрологических комплексов в области измерений рельефа и шероховатости поверхностей в нанометровом диапазоне в рамках международной метрологической организации КООМЕТ с целью декларирования измерительных и калибровочных возможностей Российской Федерации.
Развернуть
3
01.07.2009 - 31.12.2009
Проведена модернизация компонент метрологического комплекса на базе:
а) сканирующей зондовой микроскопии в части измерений перемещений;
б) интерференционной микроскопии в части единого алгоритмического и программного обеспечения;
в) прецизионной интерферометрии в части электронной фазометрии;
г) контактной профилометрии в части модернизации механических компонент.
Создан комплекс мер геометрических параметров для сканирующей зондовой микроскопии и интерференционной микроскопии.
Разработаны проекты рабочих документов участия Российской Федерации в работе международного технического комитета ISO TC 213 по нормированию требований к характеристикам средств измерений, их калибровке с целью гармонизации Российской и международной нормативной базы в области измерений рельефа и шероховатости поверхностей в нанометровом диапазоне.
Организовано участие в сличенuяx Калибровочных метрологических комплексов в области измерений рельефа и шероховатости поверхностей в нанометровом диапазоне в рамках международной метрологической организации КООМЕТ с целью декларирования измерительных и калибровочных возможностей Российской Федерации.
Развернуть
4
01.01.2010 - 30.06.2010
5
01.07.2010 - 30.11.2010

Программа

Программа "Развитие инфраструктуры наноиндустрии в Российской Федерации на 2008 - 2011 годы"

Программное мероприятие

3.1 Мероприятие по развитию методической составляющей системы обеспечения единства измерений в наноиндустрии и безопасности создания и применения объектов наноиндустрии
Продолжительность работ
2011, 6 мес.
Бюджетные средства
8 млн
Организация
ФГУП "СНИИМ"
профинансировано
Тема
Создание метрологичесого комплекса нормативно-методической базы для измерений параметров рельефа и шероховатости поверхностей в нанометровом диапазоне.
Продолжительность работ
2008 - 2010, 26 мес.
Бюджетные средства
76 млн
Количество заявок
1
Тема
Создание метрологического комплекса и нормативно-методической базы для обеспечения единства измерений локальных 3D параметров поверхности в нанометровом диапазоне
Продолжительность работ
2008 - 2010, 27 мес.
Бюджетные средства
55 млн
Количество заявок
1
Тема
Создание метрологического комплекса для измерений характеристик текстуры большепольной поверхности на основе мультисенсорной зондовой микроскопии и динамической меры перемещения нанометрового диапазона.
Продолжительность работ
2011, 7 мес.
Бюджетные средства
13 млн
Количество заявок
1
Тема
Разработка методов и средств метрологического обеспечения единства измерений в нанотехнологиях на основе тест-объектов нанометрового диапазона.
Продолжительность работ
2007 - 2008, 17 мес.
Бюджетные средства
32 млн
Количество заявок
9
Тема
Метрологическое и нормативно-методическое обеспечение измерений термохимических параметров нанопорошков металлов.
Продолжительность работ
2011, 7 мес.
Бюджетные средства
8 млн
Количество заявок
1