Создание метрологического комплекса и нормативно-методической базы для обеспечения единства измерений локального химического состава и структурных параметров функциональных наноматериалов и изделий наноиндустрии

Произведены выбор и обоснование оборудования для измерений элементного состава и структурных параметров нанообъектов.
Проведен анализ состояния нормативной базы и разработка номенклатуры нормативно-технических документов по обеспечению единства измерений выполняемых на создаваемом комплексе.

Проведен анализ состояния оборудования для измерений локального химического состава и структурных параметров нанообъектов.
Подготовлено оборудование к проведению измерений элементного состава и структурных параметров нанообъектов.
Разработаны методики калибровки оборудования, входящего в состав метрологического комплекса для измерения локального химического состава и структурных параметров наноматериалов с использованием стандартных образцов.
Получены наноматериалы для изготовления стандартных образцов по согласованной номенклатуре и исследованы их параметров.
Разработаны методики калибровки оборудования.

Разработаны методики выполнения измерений локального химического состава нанообъектов.
Проведены измерения локального химического состава стандартных образцов.
Аттестованы методики калибровки оборудования измерительного комплекса.