Разработка новых высокочувствительных радиоволновых и оптических методов измерения параметров наноструктур и материалов.

• Предложена и экспериментально реализована методика неразрушающего многопараметрового контроля электрофизических параметров нанометровых структур металл-полупроводник и металл-диэлектрик с использованием спектров отражения и прохождения электромагнитной волны.
• Проведены теоретические и экспериментальные исследования особенностей взаимодействия излучения микроволнового и оптического диапазонов с металлополупроводниковыми и металлодиэлектрическими структурами.
• Созданы новые типы измерителей толщины и электропроводности металлических плёнок на полупроводниковых и диэлектрических подложках: «Установка для контроля параметров тонких пленок МИИ-4 Видео» и «СВЧ-измеритель толщины покрытий СИТ-40 М», позволяющих контролировать параметры металлических слоев в диапазоне толщин от 10 нм до 10 мкм.
• Проведены исследования особенностей взаимодействия электромагнитного излучения с многокомпонентными средами на основе наноразмерных ферромагнитных кластерных образований.
• Показано, что учет действительной и мнимой компонент магнитной восприимчивости и от температуры, полученных при использовании в теории динамического намагничивания однодоменной частицы во внутреннем поле анизотропии и внешнем намагничивающем поле предположения о полной магнитной изотропии частиц и их идентичности, позволяет добиться вполне удовлетворительного согласия между экспериментальными данными и теоретическими расчетами влияния температуры на частотную зависимость коэффициента отражения электромагнитной волны от слоя магнитной жидкости.
• Разработана высокочувствительная измерительная система на основе синхронизированных генераторов, позволяющая резко повысить чувствительность существующих и разрабатывать новые высокочувствительные методы измерения параметров материалов и структур.
• Разработан метод определения амплитуд механических колебаний объекта по спектру автодинного сигнала полупроводникового лазера с использованием двух соседних гармоник автодинного сигнала, позволяющий уменьшить нижний порог измеряемых абсолютно амплитуд вибрации.
• Показано, что с помощью квантоворазмерного полупроводникового лазера, работающего в режиме автодинного генератора, возможно контролировать движение объектов с малыми скоростями при условии возбуждения в измеряемом объекте колебаний с амплитудой большей, чем половина длины волны лазерного излучения.