Прислать материал
Синтез тонких пленок карбида кремния
Стадии проекта
Предложение принято
Конкурс завершен
Проект закончен
Проект
02.513.11.3411
Организация
ООО "ИТЦ "Новые материалы и технологии"
Руководитель работ
Билалов Билал Аругович
Продолжительность работ
2008, 2 мес.
Бюджетные средства
2,45 млн
Внебюджетные средства
0 млн
Конкурс
Синтез тонких пленок карбида кремния.
Разработка модели, описывающей процессы зарождения и роста пленок карбида кремния и определение базовых принципов снижения температуры синтеза данных пленок на кремнии.
Участники проекта
Зам. руководителя работ
Рамазанов Нисредин Камалович
Этапы проекта
1
30.09.2008 - 14.11.2008
1. Проведен анализ научно-технической литературы, нормативно-технической документации и других материалов, по теме проекта.
2. Обоснован выбор принятого направления исследований и способов решения поставленных задач.
3. Разработана квантово-химическая модель, описывающая процессы зарождения и роста пленок карбида кремния и базовых принципов снижения температуры их синтеза.
4. Проведена модернизация экспериментального оборудования, для обеспечения синтеза тонких пленок карбида кремния.
5. Изготовлены и исследованы экспериментальные образцы пленок карбида кремния.
6. Составлены рекомендации по созданию новых технологий синтеза нано-, микро- и монокристаллических пленок карбида кремния при температурах до 1000 0С.
7. Проведены патентные исследования по ГОСТ Р 15.011-96.
8. Проведена технико-экономическая оценка рыночного потенциала полученных результатов.
9. Разработан проект ТЗ на выполнение ОКР.
2. Обоснован выбор принятого направления исследований и способов решения поставленных задач.
3. Разработана квантово-химическая модель, описывающая процессы зарождения и роста пленок карбида кремния и базовых принципов снижения температуры их синтеза.
4. Проведена модернизация экспериментального оборудования, для обеспечения синтеза тонких пленок карбида кремния.
5. Изготовлены и исследованы экспериментальные образцы пленок карбида кремния.
6. Составлены рекомендации по созданию новых технологий синтеза нано-, микро- и монокристаллических пленок карбида кремния при температурах до 1000 0С.
7. Проведены патентные исследования по ГОСТ Р 15.011-96.
8. Проведена технико-экономическая оценка рыночного потенциала полученных результатов.
9. Разработан проект ТЗ на выполнение ОКР.
Программа
Программа "Исследования и разработки по приоритетным направлениям развития научно-технологического комплекса России на 2007-2013 годы"
Программное мероприятие
1.3 Проведение проблемно-ориентированных поисковых исследований и создание научно-технического задела в области индустрии наносистем
Продолжительность работ
2007, 7 мес.
Бюджетные средства
2 млн
профинансировано
Продолжительность работ
2008, 2 мес.
Бюджетные средства
2,5 млн
Организация
ООО "Аккорд"
профинансировано
Синтез пленок кремния для солнечных элементов методом газоструйного плазмохимического осаждения
Продолжительность работ
2011 - 2012, 18 мес.
Бюджетные средства
6 млн
Организация
ООО "Наноматериалы"
профинансировано
Разработка нового метода синтеза наноразмерных окисных пленок кремния в полях монохроматического гамма-излучения на базе линейного ускорителя электронов для создания радиационностойких интегральных микросхем специального назначения
профинансировано
Лазерное микро- и наноструктурирование карбида кремния
Продолжительность работ
2013, 5 мес.
Бюджетные средства
6 млн
Организация
ООО "ЭМТ"
профинансировано